中古 VEECO CXR-V #186444 を販売中

VEECO CXR-Vは、半導体産業のために設計された汎用性の高いウェーハ試験および計測機器です。半導体デバイスの精度、信頼性、再現性の高い表面評価を提供する完全自動化システムです。CXR-Vは、非接触センシング技術を使用して、ウェーハ表面の地形、物理形状、表面粗さ、およびその他の重要なパラメータを測定します。このユニットには、反射測定、マイクロラジオメトリー、静電容量測定、楕円測定、自動欠陥検査など、さまざまなアプリケーションが含まれています。VEECO CXR-Vの反射計は、様々な材料の膜厚、地形、応力、組成を正確に測定できるように設計されています。次に測定値を評価して、デバイスの表面特性を決定します。また、非破壊光学技術である楕円測定法を使用して薄膜特性を定量化しています。楕円測定法は、材料および薄膜の厚さおよび光学定数を測定するために使用することができます。この機械には、デバイスのシート抵抗やシートキャリア濃度などの電気パラメータを測定する接触なしセンサを備えた高精度の静電容量測定ユニットが含まれています。このツールには、サンプルの表面温度をサブミクロン精度で測定できるマイクロラジオメータも含まれています。このアセットは、高度なアルゴリズムを使用してウェーハ表面の欠陥粒子を識別する自動欠陥検査をサポートしています。これは、手動プロセスを排除し、オペレータのエラーを排除しながら、潜在的な欠陥を迅速に識別および評価するために使用できます。ユーザーインターフェイスにより、モデルのパフォーマンスを簡単に操作および監視できます。CXR-Vは、さまざまなウェーハ試験および計測アプリケーションで使用するために設計されており、半導体メーカーにとって費用対効果の高い高性能ソリューションです。