中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 #62641 を販売中

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ID: 62641
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Thin film measurement system, 8" Process Type: Single Wafer CE Marked Cassette Interface: 2 Asyst SMIF Loadports Wafer Handler Type: Puck PRI Robot – Single Blade Measurement Techniques: Beam Profile Reflectometer Beam Profile Ellipsometer Deep Ultra-Violet Reflectance Ionizer in Mini-environment (MENV) OS Software: Win XP Application SW: TFMS-XP V3.2R1 SR-0 P6 HF2 V 100-120 / 200-240, A 20, Single Phase, Freq 50 / 60Hz 2001 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205は、さまざまな種類のウェーハ試験および計測を行うためのフル機能のプラットフォームとして設計されたウェーハ試験および計測機器です。アクティブと非アクティブの両方のウェーハダイとバックエンドフォーマットの高精度なデータを提供することができます。このプラットフォームは、実績のある技術を使用して、正確なスキャンおよび電気性能プロファイル、および個々のダイまたはウェーハ全体の3次元ワイドフィールド光学およびその他の光学測定を取得します。プラットフォームは回転ウェーハステージに基づいており、ダイダイの再現性とシステムの直線性を最適化するオフアクシスエラーを排除するための複数の対策が含まれています。この設計により、個々のダイまたはウェハ全体の形状、表面、および電気特性を正確に測定することができます。OPTIPROBE 5205には、金型故障とホットスポット識別を検出するための2次元赤外線イメージングを提供する独自の熱波イメージングマシンも装備されています。マルチチャネル波形取得により、ゲートとドレインに接続されたデバイスとデバイスの両方からオンウェーハの電気波形をキャプチャすることができます。計測のために、このツールには統合された計測段階があり、光学および他の計測の両方を実行するのに適しています。計測ステージは、高解像度ビデオイメージングアセットと統合されており、倍率とフォーカス補正、およびトポグラフィーイメージングを提供します。ナノレベルの光学イメージングにも使用できます。このモデルは直感的なタッチスクリーンベースのコントローラを備えており、手動操作と自動操作の両方でシームレスに動作します。さらに、THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205には、パターン認識技術とオートフォーカス機能を提供する高度なビジョン機器が搭載されています。自動化された回路測定とソフトウェアによる金型識別と位置検出を行うように構成することができます。この高度なビジョンシステムは、断面解析や3Dオーバーレイアライメントなどの自動故障解析に適しています。結論として、OPTIPROBE 5205は、ICパッケージング、MEMS、 SiP、アセンブリなどのアプリケーションに最適なウェハテストおよび計測ユニットを実現する高度な機能を備えています。また、アクティブウェーハフォーマットと非アクティブウェーハフォーマットの両方で正確なデータを提供するため、幅広いウェーハテストおよび計測タスクに適しています。
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