中古 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9225845 を販売中

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、半導体製造のために特別に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、次世代の計測課題に対応する計測ツールと検査ツールを包括的に提供し、高スループットと低オーバーヘッドを提供します。このユニットは、SEMI標準測定、オーバーレイ、CD-SEM、ウェーハ欠陥、低電圧非破壊試験などの印象的なスイートを備えています。KLA OPTIPROBE 2600Bには、検査用の5軸電動ステージ、サーボ制御ラスター、およびインラインおよびオフライン処理用の最大3つの電動顕微鏡が付属しています。このマシンはモジュラーアーキテクチャで設計されており、200mmと300mmの基板で最大10 µmの解像度に対応し、900mm×1200mmの領域をスキャンできます。このツールは、特許取得済みの2Dおよび3D画像アルゴリズムを使用して、線幅と間隔、エッジ配置、オーバーレイ問題、地形、波形、輪郭の正確な測定と分析を提供します。また、クリーンと非クリーンの両方に対応する強力な欠陥検出ツールからのデータも提供します。独自の特許取得済みのプロセス対応およびデバイス対応の欠陥検査ソフトウェアはODCX-3D埋め込まれた欠陥と周辺欠陥を特定し、迅速な分析とレポートを提供します。さらに、特許取得済みのTENCOR OPTIPROBE 2600Bは、PRTパターン認識技術を使用して、プロセスに敏感な欠陥を識別および報告します。Insightの完全なウェーハテストおよび計測ソフトウェアプラットフォームは、プロセスに敏感なDFMアプリケーションの包括的なスイートを提供し、主要な製造およびパッケージングのすべての欠陥を検査します。THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、高速で高精度な測定用に設計されています。高度な画像処理技術を使用して、エッジ配置とオーバーレイの問題をサブナノメートル精度でデコードします。さらに、時間を要するタスクや複雑なジョブのルーチンテストを自動化し、データをソフトウェアシステムに自動的に転送してさらなる分析を行うことができます。OPTIPROBEアセットは、統合されたプロセス制御ステーション、強化されたWebサービス、およびオフライン操作モードなど、3つの主要な先進機能を提供します。また、セキュアなWebサービスを介してリモートアクセスと安全な制御を提供しています。このモデルは、今日の高度なプロセスと製造要件のために完全に設計されています。