中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9012564 を販売中

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KLA / TENCOR SP1-DLS
販売された
ID: 9012564
Particle measurement.
KLA/TENCOR SP1-DLSは、最も正確で最高の解像度のマスクとウェーハ検査を提供するように設計された包括的な機器です。これは、単一のプラットフォーム内で欠陥検査を提供するために独自の技術を組み込み、クラスで最高のパフォーマンスを提供します。SAQS (Sub-pixel Accurate Quantum Sensing)と高度なイメージングオプティクスを組み合わせ、ウェーハやマスク面の欠陥の検出と解析において比類のない精度を確保します。このユニットは、空間変調された照明、並列イメージング処理、独自のアルゴリズムを使用して、10ナノメートル未満のウェーハの欠陥を特定します。KLA SP1 DLSは、1nm以上の解像度で欠陥を正確に検出し、従来の検査方法では検出が困難であった欠陥をウェーハ全体を完全に検査することができます。このマシンはまた、異なるサイト間でウェーハ/マスク画像を迅速に共有する機能を備えているため、問題を診断しやすく、より迅速な修復を可能にします。また、このツールを使用すると、検出されたすべての欠陥を含む自動データベースを作成して、欠陥データをファブに効果的に表示できます。この資産には、単一のプラットフォーム内のすべての欠陥を迅速に分析できる検査および分析ソフトウェアも含まれています。このソフトウェアを使用すると、検査プロセスを自動化し、欠陥の特性を分析し、さらに行動を決定することができます。検査モデルのシャープなディテールに加えて、TENCOR SP 1-DLSは非破壊検査を提供する機能を備えており、ウェーハやマスク表面に損傷を与えることなく、繰り返しウェーハやマスクの検査を行うことができます。最後に、SP 1-DLSは他のKLAシステムと統合してシームレスな検査と修理を行うように設計されています。
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