中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX UV 1280SE #9013077 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX UV 1280SEは、半導体および光学産業で使用できる最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA UV-1280SEは、誘電体・地形検査、電気計測、光学検査、ポジティブリソグラフィー、薄膜測定など、幅広い用途向けに設計されています。TENCOR UV 1280 SEは、フィールド強化された光学プラットフォームを備えており、反射や偏光に関係なく、さまざまな材料を正確に測定できます。PROMETRIX UV 1280 SEは、高解像度の3D計測データだけでなく、同時に視野画像を収集することができます。高エネルギー焦点ビーム、浮動客観的ステージ、および2つの可変遅延ラインを使用して、サンプルの配置と露出を検査します。これにより、表面構造物の損傷を最小限に抑えながら、サンプルウェーハ上の様々な特徴を精密に検査・検出することができます。また、ダークフィールドイメージング、マイクロパターニング、マルチパターニング、光学コンパレータなど、さまざまなイメージング機能を備えています。これらのすべてのイメージングモードを組み合わせて、複数のスケールでサンプルの構造を正確に調べることができます。KLA UV 1280 SEのイメージング機能は、迅速な時間に関心のある機能を識別して測定するように設計された高度なソフトウェアと組み合わされています。KLA UV 1280SEは、膜厚測定用の特殊な非接触装置も備えています。モノクロメータベースの分光計と多波長レーザーを搭載しており、正確で制御された厚さ測定が可能です。このユニットは、サンプルウェーハ上の各層の厚さを測定するために使用できる幅広い入射角度を備えています。この装置は、フォトレジストイメージングの助けを借りて、プライベートスリットと六角形の構造を測定することができます。全体として、PROMETRIX UV 1280SEは、精度と速度を備えた幅広いウェーハ試験を行うためのワンストップマシンです。その先進的なイメージング機能により、ナノスケールの特徴を正確に3D測定することができます。また、堅牢なソフトウェア機能により、ターゲットの位置を効率的かつ自動的に測定することができ、半導体や光学産業にとって貴重なツールとなります。