中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #197154 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、半導体業界の最新のプロセス制御および品質保証/制御ニーズをサポートするように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA RS75は、さまざまなサブミクロンの臨界寸法にわたる精度と精度を提供し、高度なプロセス制御と臨界寸法測定に最適なソリューションです。このシステムには、統合計測、テスト、プロセス制御、故障診断機能が搭載されており、総スループットを損なうことなく品質保証/制御を可能にします。その高度な光学系は、個別またはバッチモードで重要な機能をサブミクロンで測定することができます。つまり、デバイスは完全な信頼品質保証またはプロセス制御で使用できます。このユニットは、画像処理とパターン認識を組み合わせて、すべての生産設備のデータと統合されたウェハレベルの画像から自動測定を行います。TENCOR RS 75は、手動作業を最小限に抑える自動ウェーハローダーや、ロット内のあらゆるウェーハからの試験結果を詳細に照会するためのウェーハマッピングモジュールなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。この機械の精度により、さまざまなブランドのウェーハで一貫性のある結果が得られますが、フレキシブルなインターフェイスにより、さまざまな生産プロセスで簡単に設定できます。そのツールコンソールは、プロセス制御と障害診断のためのデータ収集と分析を容易にします。また、シングルラインエッジの粗さや最先端のウエハ上の接触穴/間隔など、小さな特徴を測定する機能も備えています。PROMETRIX RS-75にはオートアライメント機能も搭載しており、最高の精度と再現性を実現しています。これは、複数の測定とプロセスを必要とする複雑なアプリケーションにとって重要です。また、高解像度カラーカメラを搭載し、ウェーハの色画像を提供することができます。このモデルは、迅速かつ信頼性の高いサンプル調製を容易にし、手動で介入することなく、サンプルの品質とセキュリティを維持することができます。また、幅広いスループットと機能を備えており、複数のプロセスを精度とスループットの向上で自動化できます。要約すると、RS-75は、最も要求の厳しい性能とプロセス制御要件を満たす非常に高度なウェーハ試験および計測機器です。その精度と精度、柔軟なインターフェースと高解像度のイメージングと組み合わせることで、TENCOR RS-75半導体業界にとって理想的なシステムとなります。