中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-75 #156087 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-75は、高度なプロセス制御および故障解析のための最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハの状態と性能に比類のない洞察力を提供し、その高度な機能は、プロセス制御と品質保証に大きな利点を提供します。KLA RS75ユニットは人間工学に基づいたガントリー設計を採用しており、ウェーハの直径と厚さを幅広く選択できるため、高精度で再現性の高い測定が可能です。この機械の高度なウエハハンドリング機能は、レーザースキャナーや表面特性とサブサーフェス特性の両方をリアルタイムで測定できる他のセンサーなど、複数のセンサーと正確で再現可能なアライメントを提供します。可変視野を備えた高速スキャン/測定モードを備えており、幅広い欠陥関連情報を提供します。TENCOR RS 75は、臨界寸法測定、表面スキャン、欠陥レビューなど、さまざまな計測機能も備えています。独自の欠陥検出アルゴリズムにより、比類のない欠陥の解像度と解析が可能です。RS75ツールには、最大限の柔軟性とプロセスパラメータの制御を提供する一連の機能が装備されています。複数のI/Oチャネルを備えており、自動プロセス設定、データストレージと分析、調整可能なスキャンパラメータ、データプロット、統計分析などの高度なオートメーション機能を備えています。PROMETRIX RS-75資産には、基本的な拒否/受け入れの決定から、欠陥測定カテゴリやフォルトツリー分析などのより高度な分類まで、幅広い欠陥分類オプションがあります。また、パワフルなパターン認識エンジンを搭載しており、ウェーハの高度な検査と故障解析を可能にします。全体として、PROMETRIX RS 75ウェハテストと計測モデルは、ウェハコンディションとパフォーマンスに関する比類のない洞察を提供します。高度な自動化機能と欠陥検出アルゴリズムにより、プロセス制御と品質保証に最適です。また、幅広い欠陥分類オプションにより、比類のない柔軟性と制御が可能です。KLA RS-75装置は、最も要求の厳しいプロセス制御および故障解析アプリケーションのための最先端のツールです。