中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #195934 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCは、半導体ウェーハの分析および測定に使用されるウェーハ試験および計測機器です。バンプ、ライン、非均一性、およびフィーチャーサイズなどの半導体レベルの機能を検査および検査するように設計されています。このシステムは、高度な光学技術に基づいており、ウェーハのさまざまな寸法や欠陥を迅速かつ正確に検出することができます。KLA RS-55TCは、自動ウェーハハンドリングユニット（AWHS）に接続することができ、ウェーハサーフェスおよびフィーチャーの検査および測定に使用されます。機械はオートフォーカスの傾斜カメラおよび二重テレセントリックレンズが装備されています。オートフォーカスチルトカメラは、ツールがサンプルの高解像度画像をキャプチャすることができます。デュアルレンズは、調整可能な被写界深度を持ち、異なる焦点面の画像をキャプチャすることができます。TENCOR RS55/TCは、ウェーハの3Dデータと表面トポロジー測定を得ることができます。バンプの高さ、サイズ、形状、線幅、ピッチ、CD （Critical Dimension）の値を測定できます。アセットは、線幅や間隔の変化を検出するだけでなく、均一性のための特徴を分析することもできます。SEM （Scanning Electron Microscopy）、光学顕微鏡、SEM-AFM （Scanning Electron Microscopy-Atomic Force Microscopy）、白色光干渉計など、ウェーハ上の特徴を測定するための様々な解析技術があります。このモデルは、高度なアルゴリズムを含むこれらの技術の組み合わせを利用して、ウェーハ表面の欠陥と変動を検出します。TENCOR RS-55TCには、シリコン、銅、アルミニウム、金、その他の金属など、さまざまな種類の材料を測定する機能があります。有機材料の分析も可能で、幅広い用途に適しています。このシステムは、高いスループットと迅速な検査速度を提供します。また、データ取得とレポート生成を簡単かつ迅速に行う使いやすいインターフェースを備えています。要するに、TENCOR RS-55/TCは、半導体ウェーハの検査と測定を行うために設計された最先端のウェーハ試験および計測ユニットです。この機械は、高度な光学技術を活用し、カスタマイズされた分析技術を使用して欠陥や変動を検出します。機能、迅速なスループット、使いやすいインターフェイスを備えたKLA RS-55/TCは、ウェーハ表面の検査と測定に最適です。