中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #46197 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCは、半導体および光電子産業向けに特別に設計されたウェーハ試験および計測機器です。この高度装置はチップのテスト、包装、プロセス監視および品質管理を含む生産および開発の適用のために、使用されます。KLA RS-55TCシステムのソフトウェアは、位置、フォーカス、スキャンモード、照明などの生産プロセスパラメータを制御することができます。TENCOR RS55/TCには、1〜2インチウェハスキャンステージ、キャッピングモジュール、ウェハスキャンステーション、統合カメラ技術が装備されています。この高度な試験装置は、4D（寸法、ダイサイズ、厚さ）、2D （X/Y）、ピクセルアレイ解析、および臨界寸法解析を優れた精度と再現性で測定することができます。さらに、このマシンは特許取得済みの高解像度デジタルイメージングツールを備えており、最大0.1µmの平面分解能と最大5µmの範囲測定精度を組み合わせて、非常に正確な測定を行います。TENCOR RS-55/TCには、高度なオートメーション資産も装備されています。自動化されたウェーハフラグメンテーション機能により、自動的にウェーハセグメンテーションを行うことができ、実行中のダイと実行中のダイを正確に識別および識別することができます。このモデルは、形状や色などの光学特性、トレンチ形状などの金属幾何学的特徴、重要な寸法の分析、画像のコントラストとフォーカスの測定などを分析する機能を備えています。最後に、RS-55TCは直感的なユーザーインターフェイスも備えています。このユーザーインターフェイスにより、オペレータは重要な機器機能に簡単にアクセスでき、構成オプションを簡単に調整できます。システムのオープンアーキテクチャにより、他の製造オートメーションソフトウェアと互換性があり、非常に柔軟性があります。全体として、PROMETRIX RS55/TCは非常に汎用性が高く、正確なウェーハテストと計測ユニットです。4D、 2D、ピクセルアレイ解析、クリティカルな寸法解析を極めて高い精度と再現性で測定できます。さらに、オートメーションマシンと直感的なユーザーインターフェースにより、この機器の柔軟性が向上し、半導体およびオプトエレクトロニクス業界の幅広いアプリケーションに最適です。