中古 KLA / TENCOR FT-750 #69314 を販売中

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ID: 69314
ウェーハサイズ: 8"
Film thickness mapping system 8" wafer configuration loader Stratax Cognex SECS.
KLA/TENCOR FT-750は、200 mmまでのフロントエンド生産プロセス向けに特別に設計されたウェーハ試験および計測機器で、要求の厳しいエッチングおよびパターニング用途に必要な精度と精度を提供するように設計されています。この高度に自動化されたシステムは、サブサーフェスライン、オーバーワイド、欠線欠陥などのさまざまな欠陥タイプを分析し、線幅、膜厚、表面抵抗を測定することができます。KLA FT-750ウェハテストおよび計測ユニットは、優れた解像力、優れたパターンコントラスト、および正確な欠陥検出を保証する広いコントラスト範囲を組み合わせた真のイメージングCDSEMの概念に基づいて構築されています。TENCOR FT 750マシンは、0。20ミクロンまでの解像度を提供し、高度な高解像度光学を利用しています。このツールには自動化された真空ポッドが含まれており、高速なサンプル交換のために一定の高真空が作成され、スループットが向上します。FT-750には、ダイツダイ自動ウェハマッピングツール、マルチクリテリア評価アルゴリズムなどの高度なソフトウェアツールが含まれており、さまざまな欠陥やプロセス特性を詳細に分析できます。KLA/TENCOR FT 750はまた、強力な深度プロファイリング、ユーザーがサンプルの全体像を取得できる重要な機能を提供し、欠陥調査とプロセス制御を最大化します。アセットは構成可能で拡張性があるように設計されており、ユーザーはニーズに合わせてモデルをカスタマイズしてアップグレードすることができます。KLA FT 750は、システムが最高性能レベルで動作し、ウェーハの破損を低減することを可能にするデダスティングアルゴリズムなどの機能により、信頼性の高い機器です。このユニットには、ハイスループット測定用のインデックステーブルとオートリフトコンタクタも含まれています。オープンインターフェイスにより、FT 750を既存のプロセス監視プラットフォームに簡単に統合でき、オペレータにウェーハ状態の詳細情報を提供します。要するに、TENCOR FT-750は、200 mmまでのフロントエンド生産プロセスをサポートするように設計された信頼性の高い自動ウェーハ試験および計測機です。このツールは、最大0。20ミクロンの分解能、カスタマイズ可能で拡張可能な構成、欠陥検出およびプロセス制御、および統合されたインターフェイスを提供し、資産をあらゆる生産環境に適しています。
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