中古 KLA / TENCOR FT-600 #178694 を販売中

KLA/TENCOR FT-600は、製造プロセス中に半導体ウェーハを検査するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高速測定、高度な欠陥管理、堅牢なプロセス制御を1つのプラットフォームに組み合わせることで、シングルダイおよびウェハレベルの欠陥の検査を可能にします。KLA FT-600は、非破壊光学計測、電気パラメトリック試験、視覚イメージングなどの一連の測定を提供しています。また、1ナノメートル以上の非接触トポグラフィ測定精度、アルゴリズムベースのサイズ測定機能、最大8層の詳細な3Dイメージングなど、さまざまなダイレベルおよびウェハレベルの測定も可能です。この高度な機械により、ユーザーは厚さ、プロファイル、均一性、ステップ高さ、ピッチ、境界形状などのパラメータを迅速かつ正確に測定できます。このツールはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、オペレータは資産をすばやく学習し、ワークフローを最適化できます。また、TENCOR FT-600は、ウエハあたり最大100個のアクティブ欠陥、オペレータ通知、1ミクロン未満の位置精度、統合レーザーマーカー制御などの高度な欠陥管理機能を提供します。FT-600はまた、各ウェーハのプロセス監視とフィードバックデータをリアルタイムで表示し、堅牢なプロセス制御とトレーサビリティを提供します。KLA/TENCOR FT-600は、設定可能なオートメーションプログラミング言語、高速テストと検証のための高度なスイッチマトリックス、将来の参照のための保存されたデータのライブラリなど、さまざまな機能を提供します。また、ウェーハ検査ごとに4つのディスクリートダイを搭載し、1つのプローブでウェーハ全体のダイ特性を確認することができます。KLA FT-600はまた、サラウンド環境の包括的な制御を提供し、高感度ウェーハの正確なプロセス制御と処理を可能にします。TENCOR FT-600装置は、半導体処理の精密な特性評価と監視のための高度で高精度で効率的なウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、非破壊光計測、電気パラメトリックテスト、視覚イメージング、欠陥管理、プロセス制御など、さまざまな機能を提供します。堅牢な機能により、ユーザーはウェーハを迅速かつ正確に検査し、プロセスフローを最適化できます。