中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9352549 を販売中

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ID: 9352549
ウェーハサイズ: up to 8"
Particle counter, up to 8" Motor distribution 4 Channels motor control 4 Channels power motor drive General purpose I/O Power distribution VGA CPU: 486 PMT Pre-amplifier Wafer detector Keyboard interface Timing generator Particle area processor Haze Analog Right indexer Left indexer Lead screw HD driver PMT Tube PMT Power supply Scan mirror Laser Laser power supply Floppy disk Mouse Sort-cam Puck AC Module DC Module.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、大手半導体装置サプライヤーKLAによって開発された洗練されたウェーハ試験および計測機器です。KLA 6200 Surfscanは、最先端の半導体産業の重要なプロセス制御要件に対応して設計されており、最も正確で正確で包括的な計測機能を提供し、世界トップクラスの製造メーカーが生産プロセスから最高の歩留まりと最高のパフォーマンスを達成できます。TENCOR 6200 Surfscanの高度なイメージング機能により、処理前、処理中、および処理後のウェーハのさまざまな表面、地形、プロファイルパラメータをキャプチャおよび分析できます。2つのカメラ、マルチフレームイメージングシステムを使用して、プロファイルと土地/谷の高さ、滑らかさ、同相性、平坦性などのイメージングパラメータは低レベルのノイズで正確に測定され、6200 Surfscanは市場で最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。PROMETRIX 6200 Surfscanは、イメージング機能を超えて、測定データの優れた精度と再現性を提供します。高速アクセスデータオーバーレイにより、異なるウェーハを高速かつ簡単に比較できます。このユニットには、共同アライメント、オーバーレイ、表面および3D計測解析ソフトウェアなどの実績のあるプロセス制御強化ツールも搭載しており、一貫して高い生産歩留まりを保証します。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、他のTENCOR計測システムと共有できる、使い慣れた直感的なユーザーインターフェイスを備えており、システム間を簡単に切り替えることができます。さらに、ユーザーはオンボードスクリプティングと時間モデリングを利用して時間を節約し、強力なデータトレンドおよびトレンド分析ツールでパフォーマンスを最適化できます。最後に、KLA 6200 Surfscanは、生産サイクル全体で最高レベルのデバイスの均一性を提供するように設計された機械制御ソフトウェアと一貫したパフォーマンスを保証します。余分な効率と信頼性のために、TENCOR 6200 Surfscanは自動センサとサーマルエンジンのキャリブレーションをサポートし、ツールが常にピーク性能で動作していることを確認します。6200 Surfscanは、最先端のイメージングおよびプロセス制御技術を活用して、半導体産業において最高のパフォーマンスと最高の歩留まりを提供する、市場をリードするウェーハ試験および計測ソリューションです。
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