中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9224678 を販売中

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ID: 9224678
Wafer surface analysis system With manuals.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体デバイスの正確な測定とテストを保証するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハ表面の欠陥を迅速かつ正確に特定し、分析することができます。ウェーハおよびデバイスのトポロジーを測定するための高度に自動化された、フィールドおよび生産実績のあるソリューションであり、金属、ポリシリコン、拡散層の測定から欠陥およびパターン計測まで、幅広い用途で使用されています。KLA 6200 Surfscanは、LEDチップ測定などの量産および高度な計測アプリケーションの両方の要求を満たすスケーラブルなアーキテクチャに基づいて構築されています。堅牢で信頼性が高く、堅牢な生産環境の厳しい環境に耐えるように設計されています。自動化された指向性アルゴリズミックパターン合成(DAPS)機能を搭載しており、移動や移動、非線形性、不均一性、波動をテストするためのパターンをすばやく作成できます。この機能は、必要に応じて新しいパターンを作成することもできます。フル機能のウェーハエッジ検出器を搭載し、ウェーハエッジの正確な測定、フォトマスクの欠陥や汚染のエッジ検出を可能にします。また、最大10mmのウェーハを一度にスキャンできる高度なレンズモジュールや、ウェーハの厚さ監視、パーティクルサイズ測定、ウェーハの曲率と平坦度の測定、グローバルな均一性測定、低パーセンテージ欠陥測定、オーバーレイ解析用の幅広いソフトウェアツールも搭載しています。TENCOR 6200 Surfscanは、高度なアルゴリズムと使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されているため、データの操作と解釈が簡単です。欠陥カウント、欠陥検査、カラーマッピング、電子ビーム検査、自動画像解析など、迅速なデータ分析とレポート作成のための自動レシピが含まれています。このソフトウェアは、包括的なトレーニング教材によってバックアップされているため、ユーザーはすぐにユニットに慣れてすぐに立ち上がって実行することができます。6200サーフスキャンは、すべてのユーザーの品質と信頼性を確保し、最高水準に構築されています。また、業界の安全性と環境基準を満たすために認定されており、多種多様な生産環境に最適な機械です。自動化された機能と洗練されたソフトウェアの組み合わせにより、厳しい生産環境での正確なウェーハ欠陥解析と計測に最適です。
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