中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9199098 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、高精度のウェーハ試験および計測機器です。大規模なウェーハ処理技術の開発課題に対応し、重要なデバイス特性を確実に測定できるように設計されています。KLA 6200 Surfscanが登場する前は、個々のウェーハを検査し、欠陥を見つけ、その根本原因を理解するために多くの労力と時間が必要でした。TENCOR 6200 Surfscanは、ウェーハの信頼性の高い特性評価とテストを可能にし、メーカーが製品の性能をよりよく理解し、欠陥のあるウェーハやデバイスを容易に識別し、プロセス制御を改善することができます。このシステムは、多様な材料およびウェーハ平坦性または非平面性アプリケーションにわたって、高速で正確かつ再現性のある測定を提供します。この速度と精度により、製造メーカーはプロセスパラメータを評価するための納期を最小限に抑えます。さらに、6200 Surfscanは、高度な光学イメージングおよびウェーハトラッキングシステムを使用して、高精度の測定を実現し、整合性の高いデータを提供します。また、パーティクルカウント、データキャプチャ、計測、その他の測定などの自動ルーチンをオペレータに提供し、ウェーハ構造、デバイスの電気特性、またはウェーハ表面の汚染に関する潜在的な問題を特定するために使用できます。また、Darkfield Modeなどの高度な欠陥検出機能を備えており、ウェーハ表面に異物を検出します。また、Z、 X、 Y軸モードの両方で、ラインスキャン、FFT、 3Dプロファイル、振幅などのパラメータを使用して、卓越した表面トポグラフィ解析機能を提供します。さらに、PROMETRIX 6200 Surfscanは、非平面（3-D）トポグラフィーおよびテクスチャ測定に高い感度を提供します。微細な差異をマイクロレベルで検出する高度なアルゴリズムを使用することが可能です。このツールはまた、かさばる標本からepi基板まで、幅広い材料を迅速にスキャンすることができます。KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、ウェーハを測定、特性評価、分類する包括的で高速で繰り返し可能な方法を提供することで、ウェーハテストと計測に革命をもたらします。その高度な機能と機能により、ウェーハ処理業界はプロセス制御を改善し、より効率的で費用対効果の高いものになります。