中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9185507 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、ウェーハの精密な検査と非破壊評価のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。この汎用性の高いシステムは、半導体業界のウェーハの重要な表面特性を測定および監視するために使用されます。KLA 6200 Surfscanは、ウェーハ表面の迅速な分析を可能にする複雑なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントで構成される最先端のユニットです。このマシンは、強力な光学倍率ツール、3軸の粗い手動移動制御、および単一のウエハ上の複数のサイトを測定する能力を統合しています。これにより、ユーザーはサブ顕微鏡の欠陥を特定し、パターン化されたデバイスと非パターンデバイスの両方の重要な寸法を測定することができます。TENCOR 6200 Surfscanをサポートするために、専用のソフトウェアパッケージが用意されています。このソフトウェアは、ステップハイト、サイドウォール角度、ピッチ測定などの機能を自動的に識別および測定することができます。また、欠陥キャプチャやエラー訂正などのレポート作成にも対応し、プロセス制御を改善するための自動統計もサポートしています。資産のハードウェアも同様に洗練されています。このモデルには、機械の位置を制御するための安全なモーターとモーションコントローラ、および光学顕微鏡、光源、画像解析ビデオモジュール、および取り外し可能なキーボードが含まれています。この光学顕微鏡は、高解像度のイメージングと広い視野を提供するため、装置は非常に小さな欠陥を検出し、正確な測定を行うことができます。PROMETRIX 6200 Surfscanは、自動検査と計測のための貴重なツールです。これにより、ユーザーは表面特性を正確に測定し、非破壊的なウエハテストを迅速かつ高精度で実行できます。直感的なソフトウェア、汎用性の高いハードウェア、強力な光学系を備えた6200 Surfscanは、プロセス制御と歩留まりの向上を目指す半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。