中古 KLA / TENCOR 5107 #154364 を販売中

KLA/TENCOR 5107ウェーハ試験および計測装置は、半導体製造業界における検査および計測のための完全なソリューションです。このシステムは、半導体生産ラインに迅速かつ正確で信頼性の高いウェハテストと計測を提供するために最適化されています。KLA 5107は、自動ウェーハテスト、現場検査、プロバーパフォーマンステスト、プロファイルスキャンなど、幅広い機能と機能を提供します。また、使いやすいインターフェイスが付属しており、高速かつ正確なデータ読み出しと分析を可能にします。自動化されたウェーハテストのために、TENCOR 5107には、光学、電気、物理特性など、さまざまな指標を測定する豊富なモジュールがあります。ユニットは振動減衰エンクロージャに囲まれており、最大のスループットとデータ精度を提供します。現場での検査のために、5107はいくつかの自動化された機能を提供します。ウェーハ表面の様々な粒子汚染などをリアルタイムで検出し、迅速かつ正確な是正動作を可能にします。さらに、ウェーハの電気的特性と物理的特性の相違を検出し、歩留まりと欠陥管理を改善することができます。KLA/TENCOR 5107の他の機能には、プロバーパフォーマンステストとプロファイルスキャンがあります。Proberの性能試験では、パターン配置精度、オーバーレイ精度、解像度、レイテンシ、接着剤の衛生、リーク率などの性能パラメータを評価できます。プロファイルスキャンは、ウェーハの地形を読み取り、2次元または3次元の地図を作成する自動化されたプロセスです。ウェーハ表面の詳細な地図を提供することにより、このプロセスは、堆積物または除去プロセスの均一性を確保するのに役立ちます。KLA 5107は、半導体製造に信頼性が高く、正確で費用対効果の高いウェハテストと計測を提供します。自動化されたウェーハテスト、現場での検査、プローバーパフォーマンステスト、プロファイルスキャン機能により、時間の節約、歩留まりの向上、生産コストの削減が可能です。