中古 KLA / TENCOR M-Gauge 300 #128691 を販売中

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ID: 128691
Thickness measurement system, 6"-8" Non-Contact Wafer monitor for Sheet Resistance Digital data converter, model 20 03030 Does not include printer Power requirements: 100V, 1A, 1ø, 50Hz Measurement Range: 1m ohm/square to 1,999 m ohm/square Ω/mΩ Switch ( on rear of measurement head ) Power Switch ( rear panel ) Measurement head Wafer carriage Display Disk access door Main / Auto button Start / Standby button 1996 vintage.
KLA/TENCOR M-Gauge 300は、ハイテク製造に使用される高度なウェーハ試験および計測システムです。半導体デバイスやその他オプトエレクトロニクス製品の製造に使用されるウェハの厚さ、平坦度、粗さ、均一性などの特性を測定し、検査するためによく使用されます。KLA M-Gauge 300は、ウェーハの2Dおよび3D表面の両方の特徴を正確に測定するための3次元プロファイルを採用しています。TENCOR M-Gauge 300は、X軸とY軸の2つの独立した軸で構成された5軸スキャンプラットフォームを使用しています。これは、サンプルの表面全体のスキャナの移動を制御します。Z軸は、スキャナの高さを制御します。このスキャンプラットフォームは、ウェーハ表面の各機能を正確に個別に測定するだけでなく、完全に統合された地形および粗さ測定を可能にします。さらに、M-Gauge 300は、スキャン軸ごとに自動校正機を提供しており、ウェーハ表面を既知の基準サーフェスにすばやく正確に設定し、計測データセット内で可能な限り最高レベルの精度を達成することができます。KLA/TENCOR M-Gauge 300は、ウェーハテストと計測のための包括的なツールセットを提供します。これには、焦点イオンビーム加工、レーザー材料除去、干渉測定、ビデオイメージングなどの機能が含まれます。これらのツールを使用すると、ウェーハ表面の欠陥を3ナノメートルの解像度で迅速かつ正確に識別できます。KLA M-Gauge 300には統計モジュールも用意されており、データを単一のレポートに集約して簡単に分析できます。このモジュールはまた、パス/フェイル検査を提供し、ウェーハの機能の統計的証明を生成するために使用することができます。TENCOR M-Gauge 300は、ウェーハ計測のための汎用性と信頼性の高いツールであり、さまざまなウェーハ試験アプリケーションに正確で正確な結果を提供します。本番環境のニーズに合わせて設計された柔軟でカスタマイズ可能なオプションを提供し、直感的なインターフェイスと自動化された校正オプションにより、操作と使用が簡単かつ簡単になります。この最先端のウェーハテストと計測ツールに頼ることで、ユーザーは生産結果が最高品質の基準を満たすことを保証できます。
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