中古 KLA / TENCOR Flexus #9007344 を販売中

KLA/TENCOR Flexusは、効率的な統合設計と最新の光学技術、高度な自動化プロセスを組み合わせ、最大のスループットと精度を実現する次世代ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体デバイスの包括的なウェハレベルのテストと分析を提供するように設計されています。ユニットの高度なクローズドループ、ビジョンベースのアーキテクチャにより、1時間あたり最大24枚のテストウェーハのスライドを同時に測定および分析できます。KLA Flexusは、精密イメージングと計算能力を活用して、接触から非接触、背中までのプロセス全体に単一のプラットフォームを作成するという点でユニークです。高速カメラ、レーザー計測ツール、強力な画像処理アルゴリズムなど、多くの強力な要素を統合し、各レイヤー、スポット欠陥を正確に測定し、トランジスタゲート幅、コンタクトパッド径、ドーピングレベル、デバイス性能測定などの重要なデバイスパラメータをキャプチャできます。この精度と再現性により、TENCOR Flexusは1nm未満の基板に依存しない精度を提供できます。このマシンは、インテリジェントで自己学習の精密ロボットコントローラとして機能するステージ統合クローズドループソリューションエンジン（CLSE）を使用しています。CLSEは、アセットのパフォーマンスと精度を最適化するために、ツールパラメータを自動的に調整します。また、予測分析を統合して上流および下流プロセス関連のイベントを予測し、変化する条件に応じてモデルがパラメータを自動的かつ迅速に調整できるようにします。これらの機能は、機器のセットアップ時間を最小限に抑え、スループットを最大化するのに役立ちます。Flexusには、データログ、データ分析、およびその場でのレポート作成のための組み込み機能も含まれており、複雑なパフォーマンスと信頼性レポートを迅速かつ簡単に生成できます。さらに、このシステムは効果的にアップグレード可能であり、ユーザーは計測ツールを追加または調整して、デバイスの設計やテストパラメータの変更に対応できます。全体として、KLA/TENCOR Flexusは強力で高度なウェーハテストおよび計測ユニットであり、迅速で正確なウェーハテストと計測のための統合ソリューションをユーザーに提供します。KLA Flexusは、1時間あたり最大24枚のテストウェーハのスライド、予測分析機能、およびアップグレード可能なハードウェアおよびソフトウェアを同時に測定および分析することができるため、ウェーハ試験および計測施設の基盤となる機能を備えています。