中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9234278 を販売中

KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、デバイスの地形、パターン、オーバーレイ、寸法、欠陥特性を測定するために使用される最先端のウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高精度で精度の高い0。3ミクロンまでの構造サイズを測定することができます。これは、画像解析のための高度なユニットソフトウェア機能を提供しながら、完全に自動化されたスキャンとデータ出力のために設計されています。KLA 7700サーフスキャンには、光学イメージングの主要要素として、独自のデュアルin-situ白色光干渉計（WLI）が含まれています。このWLIは、連続的にパターン化された表面であっても、優れた非接触、3次元イメージングおよびナノ構造およびパターンの迅速な特性評価を提供するのに役立ちます。このマシンには複数の物理的属性が組み込まれており、大きな検出領域（2X）や複数の検出設定など、優れた検査速度とスループットを実現しています。このツールには、完全なウェーハの検査から、マッピングの有無にかかわらずパターン化されたサーフェスまたはパターン化されていないサーフェスまで、さまざまなアプリケーションに対応する複数のオートメーションモジュールを装備できます。これにより、さまざまな表面欠陥やウェーハ反り構造を検出および分析することができます。さらに、検査速度、ハイビジュアル解像度、動的フォーカシング、部分スキャンなど、多数のユーザー定義パラメータが含まれています。これらのパラメータはすべて、アプリケーションに応じて調整することができます。TENCOR 7700 Surfscanはまた、直感的なユーザーインターフェイスと多目的な分析および欠陥分類ツールを提供する高度なソフトウェア機能を備えています。このモデルは、自動化とプロセス制御のための他の費用対効果の高いコントローラおよびプログラマブルロジックコントローラ（PLC）と統合することもできます。さらに、高解像度イメージングと局所領域最適化（LRO）機能を内蔵しており、機器全体の精度と結果の均一性を向上させます。要するに、KLA 7700は、今日市場で入手可能な最高の計測およびウェーハ検出システムの1つです。デュアルin-situ WLI、複数の検出設定およびオートメーションモジュール、高度なソフトウェア機能、統合されたプログラマブルロジックコントローラ（PLC）、ローカル領域最適化（LRO）機能などのユニークな機能により、幅広いウェーハ表面特性をテストおよび分析するための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。