中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9221363 を販売中

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ID: 9221363
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Wafer inspection system, 8" Automatic handling, 4"– 8" Patterned / Unpatterned wafer inspection system Defects maximum resolution 0.15µ Scan pitch: Max resolution – 12.5m between scan lines XY Coordinates accuracy within 1% 30 Wafers per hour throughput High sensitivity on after-etch and high topography application Uniphase argon ion laser Low contact wafer chuck, 200mm dia Blower assembly 1996 vintage.
KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、半導体ウェーハの物理的欠陥を識別し、特性評価するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高性能の顕微鏡とそれに関連する画像処理ソフトウェアを備えており、ウェーハ上で最も小さな機能でも検出および測定することができます。7700は、最先端の光学系と画像処理プラットフォームを活用し、多様なウエハータイプの高解像度画像を生成します。500から8,000Xまで拡大された視野を提供し、50nmまでの特徴サイズの20µmの点検そして分析を可能にします。このマシンのイメージング機能と強力なソフトウェアにより、ユーザーは重要な欠陥検出と分類タスクを実行できます。KLA 7700 Surfscanは、ウェハレベルの画像ステッチ機能を備えており、複数の段階の画像を1つの画像に結合できます。この自動化されたプロセスは、誤検出と誤検出を最小限に抑えながら、ハイスループットウェーハテストを可能にします。TENCOR 7700サーフスキャンツールはユーザーフレンドリーで、操作が簡単な直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えています。このGUIを使用すると、イメージングパラメータを素早く設定したり、さまざまな画像処理技術の条件を設定したり、パターン認識パラメータを選択したり、レポート要件を設定したりできます。7700 Surfscanアセットで使用されるソフトウェアは、強力なパターン認識機能を提供します。異常、散乱、粗さ、ピット、ボイドなど、さまざまな欠陥タイプを正確に検出、測定、分析することができます。このモデルには欠陥アトリビューション機能も搭載されており、ユーザーはウェーハの欠陥をソースにアトリビュートすることができ、根本原因に関する詳細な情報をユーザーに提供します。KLA/TENCOR 7700サーフスキャン装置は、効率的で信頼性が高く、費用対効果の高い半導体ウェーハの検査および分析方法です。その高度なイメージング機能、イメージステッチ機能、強力なパターン認識アルゴリズムにより、欠陥関連のウエハテストに最適なツールです。
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