中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #9011192 を販売中

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KLA / TENCOR 7700 Surfscan
販売された
ID: 9011192
Patterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR 7700サーフスキャンは、ナノメートルデバイスの製造に適したコンパクトで高精度なウェーハ試験および計測機器です。高度なマルチセンサ技術を使用して、地形、オーバーレイ、フォーカス、膜厚測定など、多くの重要な測定を提供します。その精度と精度により、研究開発、認定、生産、品質管理など、さまざまな用途に使用できます。KLA 7700 Surfscanは、半導体、光学、MEMSデバイスなどの幅広い基板に対応するように設計されています。AR(反射防止)コーティングされたステージを備えており、強い反射の存在下でも精密な表面測定が可能です。統合されたオートフォーカス機能により、一貫した再現性のある測定が保証されます。その高感度と解像度は、デバイスの機能に影響を与える可能性のある基板上の粒子や傷などの小さな欠陥を検出するために使用することができます。TENCOR 7700 Surfscanは、そのパフォーマンスを最適化するために利用できるユーザー設定可能な測定設定をいくつか提供します。これらの設定の中には、マイクロスキャン遅延、スキャン領域、および測定範囲があります。システムは非常に効率的で柔軟性があり、ユーザーはプロセスを継続的に維持することができます。また、異なるパラメータの継続的な監視を可能にするデータ監視機能が含まれており、プロセスやパフォーマンスが予想されるパラメータを超えている場合にユーザーに警告することができます。7700 Surfscanは、さまざまな計測システムと統合することもでき、ウェーハテストと計測ニーズに対応する完全なソリューションをお客様に提供します。レーザーコンフォーカル、フォース、反射顕微鏡など、さまざまなサードパーティセンサーと互換性があり、お客様の用途に合わせて使いやすくカスタマイズできます。このユニットには、ユーザーがより複雑な測定を行うのを助けるとともに、プロセスの結果を検証および分析するためのさまざまなデータ分析ツールも含まれています。完全に自動化されたデータロギング機能を備えているため、ユーザーはレポートやアーカイブ目的でデータを保存および分析できます。このマシンはWindowsオペレーティングツールを搭載しており、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルインターフェイスを備えているため、使いやすく学習しやすいです。要約すると、KLA/TENCOR 7700 Surfscanは多目的で人間工学に基づいた機能豊富なウェーハテストおよび計測資産であり、さまざまなアプリケーションに使用できます。プロセスのパフォーマンスを向上させ、結果を最適化できる信頼性の高い高精度ソリューションを提供します。自動化されたデータロギングとデータ分析機能により、複雑な測定をより管理しやすくなり、ウェーハテストと計測のための強力なツールとなります。
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