中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #138855 を販売中

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ID: 138855
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Patterned wafer inspection system, 8" Model no: 269913 Chuck: Up to 8" Robotic handler 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanは、ユーザーに最高レベルのパフォーマンスを提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。KLA 7600 Surfscanは、ウェハテスト、欠陥検出、計測の自動化が可能です。自動化されたウェーハテスト、二次電子イメージング、X線マッピング、自動化された欠陥分類、および自動化された粒子サイズと形状解析が特徴です。TENCOR 7600 Surfscanは、ロボットハンドリングとビジョンベースの検査を利用してシリコンウェーハの表面欠陥を特定、測定、評価するオートメーションシステムを備えています。これにより、生産中の運用コストと時間を節約し、スタッフの労力を削減できます。さらに、構造欠陥や変動のモニタリングから、プロセス監視やインライン粒子解析など、より複雑な機能まで、幅広いテスト機能を提供します。欠陥検出のために、PROMETRIX 7600 Surfscanはユーザーのために捕獲され、表示される高解像度のイメージを提供する二次電子イメージング(SEI)の技術を特色にします。さらに、このマシンはX線マッピングモジュールを通じてX線マッピングと可変性評価を提供します。これにより、キャプチャした画像が正確に表示されます。このツールは、ウェーハ上の欠陥を識別および分類するために使用される自動欠陥分類(ADC)も採用しています。さらに、7600 Surfscanを使用すると、粒子のサイズと形状を総合的に分析することができ、ウェーハ上の粒子を測定および分析することができます。KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscanには、環境制御チャンバー、最大7つのレーザーモード、完全に統合された校正治具、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)などのさまざまな追加機能があります。さらに、ウェハ製造をサポートするKLA 7000 Stepsなどの半導体生産モデルの他の部分と統合することができます。全体として、KLA 7600 Surfscanは強力で信頼性の高いウェハテストおよび計測機器です。シリコンウェーハの表面欠陥を正確に検出、測定、評価することができ、生産時の時間と労力を節約できます。さらに、X線マッピングと高度な粒子サイズと形状解析が可能です。これらのすべての機能により、TENCOR 7600 Surfscanは半導体生産プロセスを監視するための理想的なソリューションになります。
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