中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192511 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、表面トポロジを高速、精度、柔軟性、再現性で測定および分析できるウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高度なスキャンおよびイメージング技術を使用して、微細な表面欠陥を検出し、現在の生産環境で利用可能な表面および欠陥特性の最も詳細な分析を提供します。KLA 6420 Surfscanは独自の高解像度3D-basedイメージングユニットを採用しており、シリコン、ガラス、または集積回路の製造に使用されるその他の材料を分析することができます。3Dイメージングマシンによって生成されるプロファイルは、表面トポロジーを正確に測定し、地形背景から表面欠陥を分離し、ステップハイト、面粗さ、トレンチ幅などの測定結果を計算するために使用されます。TENCOR 6420 Surfscanは最先端のステージ・サブシステムも実装しています。具体的には、精密リニアベアリング、真の垂直ストローク、およびx、 y、 z軸にわたってサンプルステージを正確に配置できるコンピュータ制御ステージで構成されています。このツールは、校正ソフトウェアを内蔵しているため、収集されたデータが適切に追跡され、レプリケーションに比較されるようにすることで、最適なパターン認識パフォーマンスを実現します。もう1つの重要な資産コンポーネントは、高度な欠陥検査アルゴリズムです。このアルゴリズムは、優れた精度で欠陥を検出および分類することができ、チップの隣接する領域間の微妙な地形的違いをすばやく識別することができます。6420 Surfscanモデルを使用すると、偏光強化共焦点顕微鏡などの3D光学プロファイラを使用して、より正確な表面測定を行うことができます。さらに、PROMETRIX 6420 Surfscanは、プロセスデータの完全な可視化と管理をユーザーに提供します。欠陥解析エンジンのような高度なデータ解析ツールは、単一の基板内の何千もの欠陥を自動的に検出して特徴付けることができ、検査プロセスの包括的なレポートを保存します。最後に、KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanを使用すると、ユーザーは最適な製品品質を保証できます。厳格な品質管理方法により、製造メーカーは製品にコストのかかるエラーが発生する前に欠陥を特定して排除することができます。KLAのフラッグシップツールとして、KLA 6420 Surfscanは、品質管理能力を最大限に引き出すために探している人に最適です。