中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #181364 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 181364
ヴィンテージ: 2001
Non-patterned Wafer Inspection System
Model No.: 519928
Compatible for 2", 3", 82mm, 4", 5", 6", 8"
Thickness: SEMI standard wafer thickness
Material: Any opaque, polished surface which scatters less than 5 percent of incident light
Smaller sizes factory-set at time of order
Defect Sensitivity: 0.09 micrometer diameter PSL sphere equivalent with greater than 80 percent capture rate
Haze/Sensitivity: 0.02 ppm minimum
Resolution: 0.002 ppm
Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation (Mean count greater than 500, 0.364mm dia. latex spheres)
Count Accuracy: Better than 99 percent (verified with VLSI Standards’ Relative Standard)
Spatial Resolution: 50mm spacing, minimum
Dynamic Range: 0.07 micrometer to 9,999mm in a single measurement
Throughput: 100 wph (200mm) at 0.12mm
Contamination: Less than 0.005 particles/cm2 greater than 0.15 mm dia. per single pass
Cassette Handling: Single puck wafer handling from two cassettes (one sender/receiver, one receiver)
Illumination Source: 30 mW Argon-Ion laser, 488 nm wavelength
Operator Interface: Mouse and/or dedicated user keypad
Physical Characteristics/Height: 168 cm (66 in.)
Shipping Weight: 300 kg (670 lbs)
Installation Requirements/Vacuum: 508mm (20 in.) Hg.
Electrical: 200-240V, 50/60 Hz
Power Requirement: 2 kVA
Ducted Venting: Two 102mm (4 in.) exhaust hoses
Environment: Class 10 or better
2001 vintage.
KLA/TENCOR 6220サーフスキャンは、ウェハレベルの測定に使用できるウェハテストおよび計測機器です。KLA光学ウェハ検査システムをベースに、走査型電子顕微鏡（SEM）、レーザースキャン顕微鏡（LSM）、薄膜測定（TFM）など、さまざまな光学技術を組み合わせてウェーハ上の欠陥を検出および定量します。KLA 6220 Surfscanにはさまざまなアプリケーションがあります。表面平坦度、ステップハイト、線幅、表面欠陥、拡散特性など、さまざまな表面パラメータを測定できます。これにより、ウェーハプロセス制御および欠陥メトリクスに対する重要なフィードバックが得られます。Fast Fourier Transform （FFT）解析用のデータ処理機能と画像比較画面機能を備えています。また、高度なアルゴリズムとオートメーションを使用することで、オペレータのバイアスエラーを最小限に抑えることができます。6220は、ウェーハ性能を向上させる強力な機能を備えています。ソフトウェアベースのパターン認識を使用して、欠陥を迅速に分類および分類できます。また、単一のウエハ上で複数の測定ポイントを高速に測定することができます。さらに、フィールドレベルの半定量化、ウェーハマッピング、平面化解析など、ウェーハ上で複雑なオートメーションルーチンを実行する機能を提供します。TENCOR 6220サーフスキャンは、ダイツダイ、チップ・ツー・チップ、パッケージ・ツー・ダイ、アトム・ツー・アトム測定など、さまざまなアプリケーションで使用できます。さまざまなシステムやネットワークからデータを転送することができ、テスト結果のための大容量のストレージを備えています。さらに、信頼性を向上させ、ダウンタイムを削減するために、さまざまな保護システムが装備されています。6220サーフスキャンは、ウェハテストと計測において効率的かつ効果的に使用できるように設計されています。再現性と精度のために設計された、費用対効果の高い自動化されたマシンです。その高度な光学技術は、ウェーハの欠陥を検出し、定量化する能力を提供します。さらに、データ処理機能を内蔵し、パターン認識と高速測定のための高度な技術を備えています。
まだレビューはありません