中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #177831 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、半導体ウェーハの表面パラメータを測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ表面の原子構造とナノ構造の特性を正確に測定するために、最先端の高解像度反射イメージングと高度な計測センサーを使用しています。このユニットを使用すると、線のエッジの粗さや原子のステップなど、あらゆるタイプの表面フィーチャーを簡単かつ迅速に測定し、それらを詳細に分析することができます。KLA 6200 Surfscanマシンはまた、ピエゾ粒子やリソグラフィカルピンホールなどの欠陥や汚染の分析を可能にする非計測スキャンプローブを統合しています。本ツールは、直径300mmまでのウェーハを測定できるように設計されており、UVコンフィギュレーション可能な環境でも動作するため、UV照明を必要とする高度なアプリケーションに適しています。さらに、TENCOR 6200 Surfscanは、光学顕微鏡とビジョンモデルで構成されるデュアルゾーンビジョンアセットを備えており、従来のイメージング方法では見えない細部の詳細な測定と分析を可能にします。PROMETRIX 6200 Surfscanには、ステップおよび反射測定ソフトウェアも搭載されており、ウェーハ表面の高精度な3次元および地形イメージングを可能にします。これにより、原子レベルでの表面の均一性と微細構造、および他の技術では測定できないナノ構造を詳細に分析することができます。さらに、6200 Surfscanには、光学アルベンチ、対物レンズ、および検出器からなる光学機械装置が付属しており、それらはすべて常に構造的な安定性と精度を確保するように設計されています。このシステムを最大限に活用するために、デジタルカメラやレジスト測定プローブなどの他のデバイスとペアリングすることができます。レジスト測定プローブは、原子レベルでのデータ収集を可能にし、静電容量や抵抗などの高精度な電気特性を生成するために使用できます。このデータは、半導体チップやデバイスの設計をさらに洗練するために使用できます。全体として、KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、強力で最先端のウェーハ試験および計測ユニットであり、半導体ウェーハの表面パラメータと電気特性を高精度かつ詳細に解析するように設計されています。このマシンは、精密計測、設計最適化、汚染モニタリングなど、さまざまなアプリケーションに適しています。