中古 INSPECTECH KIS 3000 #195471 を販売中

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INSPECTECH KIS 3000
販売された
ID: 195471
ヴィンテージ: 2000
Wafer inspection system, 2000 vintage.
INSPTECH KIS 3000は、最も要求の厳しい半導体製造プロセス向けに設計された高精度のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学系と精密機械系の究極の組み合わせを提供し、同時にウェーハ試験と計測を行うことができます。KIS 3000には、独自のスキャニングレーザマイクロスポット技術が付属しています。これにより、接触、トレース、デバイスエッジ、接触ピッチなどのウェーハの小さな領域を迅速かつ正確に測定できます。スキャンレーザーは、ウェーハ上の他の構造物の迅速かつ正確な位置を可能にします。このユニットには、ウェーハの複雑なイメージング用の高解像度カメラが含まれています。このカメラは、最大5µmの線幅の画像を取得することができます。これにより、ユーザーはウェーハの欠陥をより正確かつ迅速に特定できます。INSPTECH KIS 3000は、正確なウェーハアライメントと自動測定に必要な精度を提供する精密なステージも備えています。内蔵のマイクロプロセッサベースの自動センタリングマシンにより、試験片の正確な操作と処理が可能です。このツールには、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)による高度なビームスキャンテクノロジーとプロセス制御が含まれています。このGUIは、タスクレベルのアクションをリアルタイムで構成または監視しながら、3D要素構成やアラインメントの事前計画などの幅広い機能を提供するのに役立ちます。また、テスト時間を短縮し、精度を向上させるためのオンラインプロセスモニタリングアルゴリズムも備えています。また、KIS 3000は、他のオートメーション機器に統合するためのソフトウェアオプションや、特定のお客様のアプリケーション用のソフトウェアソリューションなど、包括的なソフトウェアパッケージも提供しています。このアセットには強力なラボデータベースも含まれており、ウェハテストの結果を保存および管理するのに役立ちます。INSPECTECH KIS 3000は、半導体アプリケーション向けの高精度メカニクス、高解像度イメージング、ソフトウェアソリューションを強力に組み合わせた高度なウェハテストおよび計測モデルです。クラス最高の信頼性を誇るこの装置は、幅広い半導体メーカーにとって理想的なツールです。
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