中古 FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC #197464 を販売中

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FSM / FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VAC
販売された
ID: 197464
ウェーハサイズ: 8"
Integrated metrology annealing chamber, 8".
FSM (FRONTIER SEMICONDUCTOR) FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VACは、プロセス制御監視および高度な故障解析のための実験室およびインライン操作を容易にするように設計された高度なウェーハ試験および計測システムです。それはすべての基質材料の28nmから300nmまで及ぶ先端技術ノードの使用のために適しています。FSM 900TC-VACは汎用性と高度にカスタマイズ可能で、アプリケーションに合わせた幅広いツール構成を備えた一連の転送可能なソリューションを提供します。モジュール式の設計により、既存のクリーンルームインフラストラクチャに簡単に統合でき、容易に導入できます。このシステムは、高速DCテスター、光学プロファイラ、自動顕微鏡、自動パーティクルカウンタ/アナライザなど、計測、テスト、およびイメージング機能の包括的なスイートを使用しています。FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VACの計測ツールは、抵抗、容量、厚さ、地形など、幅広い電気的および地形的パラメータを測定することができます。広いダイナミックレンジを持ち、2ミクロンから10mmまでの厚さのサンプルを高分解能で再現性のある測定が可能です。統合されたシミュレータと自動化されたサンプルハンドリング機能を備えており、大容量の大規模生産環境での迅速で信頼性の高いテストを可能にします。900TC-VACの高度なイメージング機能は、幅広い故障解析に使用できます。自動画像処理ステーションを搭載し、自動認識、薄型化、デジタルイメージングが可能です。オンボードイメージングモジュールは、蛍光顕微鏡、Microfocus X-ray、 SEM/EDXなどのさまざまな光学検査方法と互換性があるようにさらに構成することができます。FSM/FRONTIER SEMICONDUCTOR 900TC-VACは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、豊富なデータ抽出と分析機能を備えたユーザーフレンドリーです。それは潜在的な損傷から装置を保護するために過熱保護、過電圧保護、およびESD保護が付いている非常に信頼できるシステムです。また、サンプル搬送ロボットや環境チャンバーなどの幅広い周辺アクセサリと統合して、24時間体制での試験および監視を行うこともできます。さらに、FSM/FRONTIER SEMICONDUCTORは、継続的かつ信頼性を確保するために、包括的なカスタマーサポートとサービス契約を提供しています。
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