中古 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9239523 を販売中

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ID: 9239523
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Wafer measurement system, 8" 1996 vintage.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500は、高度で自動化された測定および分析用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、レーザー顕微鏡および光学計測技術を使用して、迅速なターンアラウンドタイムで正確な結果を提供します。レーザースキャン、クロマチックコンフォーカルイメージング、干渉測定、ファインフォーカスイメージングを組み合わせて、ウェーハの詳細な画像と測定を作成します。ADE Ultragage 9500は、単一のモータ駆動のXYZポジショニングステージとさまざまな高度なオートメータを使用して、ウェーハのさまざまなパラメータを正確に測定するシングルチャンバーの自己完結型マシンです。高出力レーザー、光学フィルタ、干渉/干渉要素を備えた6軸ブロードバンドイメージングヘッドを備えており、高精度と高性能を保証します。さらに、拡張と24時間365日の動作を可能にする2軸セカンダリモータドライブが特長です。このツールは、光と暗所の両方の画像からデータを取得するために特別に設計された、高精度で再現性のあるデータ取得資産を誇っています。自動化された画像検索ツールや解析ツールなど、複数のソフトウェアパッケージを使用してデータを洗練および微調整できます。このモデルは高度に構成可能であり、異なるサイズと方向、および異なるパラメータのウェーハを測定するためにカスタマイズすることができます。また、短期および長期の両方で統合的かつ広範な測定が可能です。この機器は非常にユーザーフレンドリーで、簡単なナビゲーションと制御のためのグラフィカルユーザーインターフェイスと3Dビジュアライザを備えています。さらに、システムは、高度なセキュリティと安全機能だけでなく、適切な動作を確保するための詳細な警告ユニットを提供します。全体として、KLA Ultragage 9500は非常に要求の厳しい実験室および産業アプリケーションで使用するために設計された非常に汎用性の高い高度なウェーハ試験および計測機です。これは、安全性と一貫性の両方を維持しながら、最高の精度と速度を提供します。
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