中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9265520 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9500は、半導体プロセス特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。これは、ウェーハ表面の品質を測定するための高度な技術と方法の様々な組み合わせ、最も単純な構造から最も複雑な構造に。前処理から後処理まで、あらゆるウエハや基板の完全な特性評価を可能にし、正確なプロセス制御とデバイス製造、歩留まり管理を可能にします。このシステムは、ウェーハの表面を評価するために、機械的、電気的、化学的特性を測定するさまざまなセンサーを使用しています。このユニットの機械式センサは、表面形状、接着強度、表面粗さなどの要因を測定します。電気センサは、抵抗、静電容量、および電流を測定します。化学センサーは、金属酸化膜、ドーパント濃度、抵抗率などの元素を測定します。センサは1ナノメートルの分解能を持ち、マシンは2つの異なるタイプのスキャンステージで構成されており、ウェハ全体または特定の場所で測定することができます。ADE 9500には高度なオートメーションソフトウェアが搭載されており、センサからの自動スキャンとデータ取得が可能です。自動化されたコマンドは、コントロールコンピュータからツールに送信され、センサーからデータが戻ってきます。収集されたデータは可視化され、故障解析やプロセス最適化のために分析されます。ソフトウェアには、データ処理アルゴリズムの広範なライブラリが含まれており、ユーザーは簡単にデータを操作して解釈することができます。この資産には、さまざまな安全機能が装備されており、ユーザーを保護し、機器の損傷を防ぎます。ESD空気送風機はモデルを静電気放電から保護し、緊急電源スイッチは過電圧条件から回路とコンポーネントを保護します。装置は厳格な安全テストを受け、国際オートメーション協会やその他の安全基準機関から基準を通過しています。KLA 9500は、半導体産業に不可欠なツールであり、正確で効率的なプロセス特性評価を可能にします。精度の高い自動測定やデータ取得を可能にするさまざまな高度な機能とロボットを提供し、ユーザーはプロセスを正確に制御および管理することができます。このシステムの広範な安全機能は、ユーザーと機器を保護し、ウェーハテストと計測において最高品質を必要とするあらゆるアプリケーションに最適なソリューションです。