中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9249958 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGageは、エッチング、成膜、接触穴アライメントのための信頼性の高い迅速な試験方法を提供するウエハテストおよび計測機器です。このシステムは、製造設定におけるプロセス計測アプリケーションを容易にするために設計されており、ユーザーは製品の品質を簡単に監視および測定し、製品の完全性と性能を保証することができます。このユニットは、独自のレーザー光フィードバック機構を使用して、製造工程で発生するミクロンレベルの幾何学的変化を測定します。光学は、表面高さ、横位置、角度方向の3つのパラメータを測定します。これにより、さまざまな光学プローブやセンサーを使用して、ウェーハの地形を正確に測定することができます。このツールは、ウェーハを位置に移動し、必要な測定値を提供するための線形ステージを採用しています。レーザー光学フィードバック機構により、エッチング深さ、蒸着厚、接触穴アライメントの測定も可能です。ADE 9500 UltraGageはまた、ユーザー制御のための堅牢な資産を提供します。タッチスクリーンの便利なパネルは容易な操作を保障するために直観的なグラフィカルユーザーインターフェイスを利用します。これにより、パラメーターを素早く設定または変更したり、測定を開始したり、結果を表示したりすることができます。プロセスデータを記録して、トレンドを監視し、時間の経過とともに精度を比較するために使用することもできます。このモデルの革新的な光学設計は、柔軟で正確なテーブルスキャンを保証します。この光学系は、ウェーハがエッジからエッジまで連続した動きでスキャンされるように、モーター付きベースに収納されています。これにより、厳しい公差でも最高レベルの精度と再現性が保証されます。KLA 9500 UltraGageは、プロセス計測アプリケーションの信頼性と高速な分析を提供する強力なウェーハテストおよび計測機器です。高度なレーザー光学フィードバック機構と直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは製品の完全性とパフォーマンスを保証するために製品を正確にテストおよび測定できます。