中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #9248218 を販売中

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ID: 9248218
System.
ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGageは、自動欠陥検査、薄膜および表面計測、欠陥レビューの技術を単一のプラットフォームに組み合わせた最先端のウェーハ試験および計測機器です。ADE 9500 UltraGageは、ウェーハレベルのプロセス制御に優れたマッピングおよび分析機能を提供します。これにより、お客様は歩留まりに影響を与える欠陥を測定、分類、追跡することができます。KLA 9500 UltraGageは、5 nmまでの欠陥検出機能を備えた高感度の自動欠陥検査システムを提供します。統合されたデジタル画像解析ユニットは、分類目的でデータを自動的に識別および収集し、半自動の欠陥レビューを可能にします。また、薄膜、ワイヤ、レンズ、その他の表面の自動シリーズ測定機能も備えています。9500 UltraGageは、ファラデーカップ技術、レーザースキャニング共焦点技術、回転共振技術、光学散乱計、X線技術などの測定技術を搭載し、幅広い膜厚、奥行き、プロファイル、平均面積、線幅、エッジ粗さ、表面平坦性、その他の特性を測定することができます。このツールは、より高速な信号/画像処理機能、より高いスループット、より高い安定性、およびより広い検出範囲を備えた最適なパフォーマンスのために設計されています。TENCOR 9500 UltraGageには、自動スキャン/フォーカス/照明機能、自動コーティングされた膜厚測定、Snellの法則比較、スペクトル狭帯域イメージングなどの高度な光学検査機能も搭載されています。また、明るいフィールド監視、暗いフィールドのイメージング、位相シフトイメージング、マルチウィンイメージング、およびその他の画像解析機能をサポートしており、より正確で正確な分析が可能です。ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGageのモジュール設計により、3Dイメージング、大規模欠陥レビュー、高密度パターン認識のオプションモジュールを使用して、特定のアプリケーションのテストモデルの機能を最適化できます。また、厳格なOEMソフトウェアと同期して、測定および分析プロセスをお客様の既存システムと統合します。最後に、ソフトウェア制御ソリューションは、包括的なデータ管理とレポート機能を提供します。全体として、ADE 9500 UltraGageは、最高レベルの精度、柔軟性、速度を提供する包括的なウェーハテストおよび計測機器です。歩留まりに影響する欠陥を正確に特定し、プロセスを最適化し、最終的に製品歩留まりを改善するのに役立ちます。
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