中古 ADE / KLA / TENCOR 9500 UltraGage #186301 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 9500 UltraGage装置は、半導体産業に高度な品質管理と精度を提供するように設計されたウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、高解像度イメージングと特徴認識のための光学顕微鏡、ならびに機械性能を定量化するための分光イメージング機能を備えています。自動化されたステージにより、平面および非平面用途を含むさまざまな種類のウェーハを高速かつ非破壊的に測定できます。アクティブイルミネーション技術により、ダイナミックな照明とシャドウレスビューイングが可能になり、正確な機能認識と自動イベント検出が可能になります。このツールには、4インチウェーハで最大5µmの精度を提供する統合されたマイクロフォーカス測定アセットが装備されています。また、静的、多重、繰り返し測定のための高解像度非接触測定モデルも組み込まれています。この装置は、高アスペクト比の特徴とアセンブリの正確な測定を可能にします。その他の機能には、高速アライメントとステップ移動のための自動化されたステージ、繰り返し迅速なプロセス検証のための自動スキャンシステム、迅速なユニット評価のための動的データ分析、特定のアプリケーションのためのカスタマイズされたワークフローなどがあります。UltraGageマシンには、ウェハ品質に関する高速で信頼性の高いデータを提供する自動欠陥検査モジュールも装備されています。このモジュールには、人工知能と機械学習技術を活用して欠陥を検出、分類、報告するためのさまざまな専門アルゴリズムが含まれています。このツールは、さまざまなアセンブリタイプの高精度のインライン輪郭マッピングも可能です。これはシームレスかつリアルタイムに発生し、個々のコンポーネントが製造全体でどのように機能しているかについて詳細な洞察を提供します。これらのすべての機能により、アセットは高精度で低コストのウェーハテストと計測を提供できます。このモデルはまた、設定可能であり、インライン測定、統計プロセス制御、ロボットインターフェイスなど、いくつかの高度な統合技術をサポートしています。この相互運用性は、ADE 9500 UltraGage機器に高い柔軟性と拡張性を提供し、幅広い先進半導体アプリケーションを可能にします。