中古 ADE / KLA / TENCOR 3910 #9301295 を販売中

ADE/KLA/TENCOR 3910ウェーハ試験および計測装置は、ウェーハなどの半導体デバイスや材料の変化を評価するために使用される高度な自動化システムです。このユニットには、ウェーハの状態に関する正確なデータを提供するために、マクロとマイクロの両方の検査システムが装備されています。マクロ検査機は、ウェハ表面全体を検査し、大規模なリソグラフィ関連の歩留まり問題を検出することができます。マイクロインスペクションツールは、高解像度のイメージングと分光法を使用して、0の解像度で個々の欠陥を検出します。5 μ m以上。この資産には、ウェーハをステーションおよび検査および計測プロセスを通じてインデックス化および輸送するための輸送およびステージングハードウェアが装備されています。このモデルは、プロセスと作業手順のリアルタイム入出力制御を提供するように設計されています。さらに、ADE 3910は、半導体ウェハテスト用のデータ転送、ウェハハンドリング、検査、測定ソフトウェアを統合した高度な機器コントローラを備えています。KLA 3910は0。3 μ mまでの解像度で迅速な欠陥認識が可能です。このシステムは、手作業による顕微鏡検査ではなく、自動欠陥認識技術を使用しています。これは、データを迅速かつ正確に提供するのに役立ちます。抵抗、トポグラフィ、ダーク電流、シート抵抗、静電容量などの光学特性も測定できます。また、粗さ、表面形状、プロファイル、平坦度、高さなどの高度な機能計測機能も備えています。これにより、フィーチャーの直線性、重要な寸法、オーバーレイなどを分析できます。3910はまたマイクロレベルの正確さの突起そしてパッドを含む3D形の測定を可能にします。全体として、TENCOR 3910ウェーハテストおよび計測ツールは、最新の半導体デバイスや材料に対して迅速かつ効率的に正確なデータを提供するように設計された高度な自動ウェーハテストおよび計測資産です。ADE/KLA/TENCOR 3910は、幅広い高解像度イメージングおよび計測機能を備えており、半導体ウェハテストおよび計測アプリケーションに最適です。