中古 ADE / KLA / TENCOR 3910 #149419 を販売中

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ADE / KLA / TENCOR 3910
販売された
ID: 149419
ウェーハサイズ: 8"
Dimensional gauging system, 8" Controller unit Wafer loader.
ADE/KLA/TENCOR 3910は、半導体測定ラボで使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムにより、さまざまな半導体デバイスの特性評価および信頼性試験が可能になり、企業は製品の品質と生産要件を満たすことができます。ADE 3910は、39100 Analyzer、 39130 Automated Measurement Machine (AMS)、 39165 Automated Solder Measurement Tool (ASMS)で構成されています。39100 Analyzerは、7軸の位置決めアセットと高解像度CCDカメラを備えています。この組み合わせにより、重要寸法(CD)、目視検査、薄膜解析、ダイレベル測定など、ウェーハ表面の非接触、非破壊測定が可能になります。39130 AMSは、多軸マルチパターン計測データの解析に対応するよう設計されており、ウェハの上面と底面の両方を同時に測定することができます。大小の構造物にも対応可能で、高解像度のスポットサイズスキャンカメラと2台の並列スキャナを搭載しているため、5マイクロメートルの解像度までの高品質なサーフェススキャンが可能です。39165 ASMSは、半導体ウェーハ上のはんだ接合部とボンドパッドの完全性をテストおよび測定するために特別に設計されています。ハンダバンプの画像を自動的に取得し、0。5マイクロメートルの高精度で高さと幅を測定できます。さらに、この装置は、はんだ接合部にあるボイド、ボール、結節などの欠陥を検出するように設計されています。品質保証システムに加えて、KLA 3910は、ソフト欠陥および根本原因解析、位相スリップ欠陥検出、欠陥検査速度、広範囲および線幅の均一測定など、幅広いウェハレベル測定ツールを提供しています。3910システムはまた、計測測定を微調整し、ダイレベルトポグラフィーデータの自動解析を行うことができるキャリブレーションユーティリティを備えています。全体的に、TENCOR 3910は、複数の高度な計測システムの機能を組み合わせたオールインワンユニットです。半導体ウェーハの完全な解析を可能にし、半導体の製品性能と信頼性を保証します。柔軟性と精度を備えたADE/KLA/TENCOR 3910は、エンジニアに完全で信頼性の高い特性評価ソリューションを提供します。
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