中古 ULTRATECH XLS 7500 #9241365 を販売中

ULTRATECH XLS 7500は、さまざまな基板上のイメージング機能用に設計された多目的ウェハステッパーです。ステッパーは、LEDや水銀ランプ、ミラー、プリズム、開口部などの光学部品の配列を使用して、非常に詳細なイメージングを行います。その高分解能機能により、1。2マイクロメートルの最小フィーチャーサイズでマイクロリソグラフィックパターンを踏襲することができます。ステッパーにはオプションの高度な高速イメージングパッケージがあり、露光時間はわずか10msでスループットを高速化できます。また、マスクと基板のコントラストを最大化するために、254-365 nmの範囲から最も適切な波長を選択できる高度なスペクトルイメージングパッケージを備えています。さらに、ステッパーには高度なアライメントパッケージがあり、サブミクロン精度のセンサーでウェーハの微調整と測定が可能です。ステッパーは、その長期的な信頼性を確保する様々な機能を持っています。カーボンフィルターと高効率のパーティクルエアー（HEPA）フィルターを使用して、クリーンルーム環境におけるあらゆる粒子状汚染物質をフィルタリングする空気浄化システムを備えています。それにプロセス温度の安定性そして正確さを保障する精密なフレームのクーラーがあります。さらに、ステッパーには3ポイントウェーハホルダーがあり、処理中のウェーハの安定性とアライメントを保証します。XLS 7500も非常にアクセスしやすく、ユーザーフレンドリーです。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、操作と設定が容易になり、高度なデータモデリングとソフトウェアスイートによりシステムレベルの監視が可能になります。さらに、このマシンは、VME、ギガビットイーサネット、SCSIベースのシステムなど、業界最新のデータフォーマットとインターフェイスと互換性があります。機械はまた広範囲の適用のために容易に適応可能です。屈折や異方性などの幅広いレンズと、異なる作業距離に対応する電動ステージを備えています。さらに、基板チャック、加熱基板テーブル、ウェーハエッジインストールシステムなど、さまざまな追加ハードウェアおよびアクセサリでカスタマイズできます。全体的に、ULTRATECH XLS 7500は、高度なイメージング機能と操作と設定が容易な機能を備えた非常に汎用性の高いウェハステッパーです。高精度で高解像度のイメージングと、信頼性と効率性の高いイメージングのためのさまざまな機能を提供します。幅広いカスタマイズオプションにより、ほぼすべてのアプリケーションに適しています。