中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9198660 を販売中
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販売された
ID: 9198660
ヴィンテージ: 2005
Stepper
Mainframe configurations:
Controller unit:
Centralized control and distributed control
SECS Compatibility
Exposure unit:
Hg Lamp
GHI-Line light source
Indexer unit:
Two cassette loader / Unloader
Universal wafer size
Transfer unit:
Robot
Can handle 6", 8" and 12" wafers, both notch and flat type
Wafer stage unit:
Linear motor XY stage
Reticle stage
Automated wafer thickness compensator
Alignment unit:
Pre-alignment: Automatic enhanced global alignment
Through the lens alignment
MVS (Machine vision system) pattern recognition system
Closed loop dose control system
Focus detector and focus leveling system
Operation unit:
Alignment monitor
Program execution monitor
Keyboard or joy-stick
Printer
Safety unit:
Vibration isolation system
Auto alarm system
Interlock protection system
Hardware specification:
Notch and flat wafer
SEMI and JEIDA standard
Wafer thickness: 11-30 mil
Stage type:
Linear motor drive
3-Axes of freedom
Wafer handling:
Cassette to cassette
Conform to SEMI and JEDIA standard
Hg Lamp type: 1000 Watt
Reticle size: 6 x 6 x 0.25 inch
Reticle library: (12) Slots library with barcode reader
Fields per reticle:
1-4
6 x 6" -2- field, max field size: 44.0 x 26 mm
6 x 6" -3- field, max field size: 37.6 x 26 mm
6 x 6" -4- field, max field size: 27.6 x 26 mm
Maximum field size: 44 x 22 mm
Global alignment: Within ± 40 µm placement accuracy
Enhanced global alignment: 500 nm, 3δ (Reticle image recognition alignment system)
Alignment optical system: Bright field alignment
Up-time: ≥90%
MTTR: <4 Hours
Reliability test: Cycling test: > 500 wafers (with alignment) processed without reject and fail
Wafer breakage: ≤ 1/ 10000
Vibration control: Active air isolation
Computer / Printer type:
VME Bus controller
CPU: ≥35 MHz
Color graphic monitor
Enclosed impact printer
Process specification:
Minimum feature size: ≤1.40µm
DOF (Depth of focus):
≥ 4 µm (at 2 µm L/S with 2 µm thickness of resist)
≥ 8 µm (at 30/10 µm L/S with 23 µm thickness of resist)
≥10 µm (at 50 µm L/S with 120 µm thickness of drvr film)
Dynamic focus: Provides capability of exposing photosensitive films from 1- 125µm
CD Uniformity: ≤±10%
Irradiance at wafer plane: ≥1200mW/Cm²
Maximum image area: 44 X 26 mm²
Exposure spectrum: 350 - 450nm (GHI-line/ Full spectrum)
Exposure uniformity: ≤ ±4%
Alignment accuracy: ≤ 0.5 µm (3δ)
Throughput: 8-inch wafer, 400mj/ Cm², 44 x 22 mm field size, wafer layout 26 steps: >60 wph
Exposure linearity:≤ ±1%
2005 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、リソグラフィ用途のすべてのイメージング要件をサポートするように設計された高性能ウェーハステッパーです。最先端の設計により、Saturn Spectrum 300ウェーハステッパーは、ウェーハ全体にわたって正確なアライメント、再現可能な露出、再現可能なイメージングを提供します。ステッパーは、広い視野(FOV)を持つ高度な光学機器を備えており、ウェーハの表面全体で最大の分解能を確保します。FOVは300mmまで拡張でき、焦点の総深度(DOF)は2。5ミクロン未満です。デジタル化された高速CCDカメラと、システムで使用される高度なパターン認識アルゴリズムにより、高精度なアライメントと正確な露出が保証されます。ULTRATECH Saturn Spectrum 300の調整可能なベースプレートは、微細な動き分解能とウェーハの正確なアライメントを提供します。ベースプレートは、最大4つの領域の断面登録に調整することができ、不規則なシステムの露出を可能にします。ステッパーのモーションプロファイルを調整して、スループットを最適化し、サイクルタイムを短縮できます。Saturn Spectrum 300は、複雑なマスクパターン認識機能、マイナスイメージストリップ変換ツール、高度なオートフォーカスユニットなど、さまざまな高度なイメージングツールを備えています。高度なマスクパターン認識機能は、インプリント中にオブジェクトを識別し、検索します。ネガティブイメージストリップ変換ツールは、インプリント中のパターンの方向の変更をサポートします。高度なオートフォーカスマシンは、イメージング中に適切なフォーカス調整が行われることを保証します。さらに、ULTRATECH Saturn Spectrum 300には、3軸電動ステージが装備されており、9自由度を提供し、優れた運動精度を提供します。3軸電動ステージは、さまざまなステップを利用して所定の構造内でパターンマッチングをサポートし、露出間のロータリーシャッターは非常に均一な露出フィールドを生成します。このウェハステッパーは、ArFレーザーやIラインなどの推奨放射線源と互換性があり、正確なインプリントが可能です。Saturn Spectrum 300ウェハステッパーには、被ばくからユーザーを保護するための放射線量測定用の安全機能が組み込まれています。ULTRATECH Saturn Spectrum 300は汎用性と精度に優れたウェーハステッパーで、リソグラフィ用途において優れた解像度、再現性、精度を提供します。
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