中古 ULTRATECH AP 300 #9248655 を販売中

ULTRATECH AP 300ウェーハステッパーは、今日入手可能な最も先進的なウェーハステッパーの1つです。ナノメートルレベルの大容量ウェーハを超精密にパターニングできるように設計されています。高精度なダイヤフラムポンプを搭載し、高い加工速度でも最高レベルの精度と再現性を維持します。大型ステージサイズにより、大型サンプルのハイスループットパターンを実現し、ウェーハ全体のフィーチャーセットの正確な位置決めが可能です。ULTRATECH AP300は、オープンループ制御とクローズドループ制御の両方を備えた高度なモーションコントロールプラットフォームを備えており、ユニットの再現性と精度を最大限に制御できます。また、位置フィードバック用の超精密レーザー干渉計と、超精密速度制御のための特許取得済みのパルス幅変調（PWM）モータを備えています。これにより、ウェーハ表面全体にわたる正確で繰り返し可能なナノメートルスケールのパターンが可能になります。AP 300は、プロセスの迅速なセットアップを可能にする豊富な機能セットを利用しています。UV、 KrF、 eビームなど、複数のリソグラフィ技術と互換性があります。このツールは、パターンエッチングの指示、重要な寸法の定義、3Dでのパターンの作成などに使用できます。また、自動パターン作成アセットを使用して、ユーザーは新しいプロセスをすばやく設定できます。AP300には、いくつかの安全性と環境機能も含まれています。このモデルには、安全カットアウトが含まれており、何か問題が発生した場合に自動的にシャットダウンすることができます。また、環境汚染物質を最小限に抑えるための予防措置も含まれています。さらに、洗浄や摩耗のチェックなど定期的なメンテナンスを自動的に行い、システムの寿命を延ばすことができます。全体的に、ULTRATECH AP 300ウェハステッパーは、強力で信頼性が高く、超精密なユニットであり、大面積にわたって業界をリードするパターニング精度を提供するように設計されています。その先進的なモーションコントロールマシンは、非常に反復可能で正確な機能の位置決めを可能にし、その自動パターン作成ツールと安全機能は、プロセスが迅速かつ安全に実行されることを保証します。ULTRATECH AP300は、ナノレベルのパターニング精度を実現することができ、大型ウエハの高速かつ正確なパターニングに最適です。