中古 ULTRATECH 1500 #9269962 を販売中

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ULTRATECH 1500
販売された
製造業者
ULTRATECH
モデル
1500
ID: 9269962
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6".
ULTRATECH 1500ウェーハステッパーは、半導体ウェーハ上で高精度の部品を製造するために設計された先進的な半導体リソグラフィ装置です。この最先端の機器は、高度な光学投影と高解像度マスキングシステムを組み合わせて、卓越した精度と高いスループットで複雑なパターンを画像化して生成します。1500は4つの高解像度イメージングシステムを使用しており、さまざまなアプリケーション要件のために異なる投影目標を作成します。直径12インチまでのサイズのウェーハを加工でき、ライン幅を0。5ミクロンまで極めて正確に低減できます。また、ウルトラテック1500はウェーハ間登録のために設計されており、実行中の登録エラーを排除します。1500は、x、 yステージと回転と高さ調整のための2つのモーターを備えた高容量の自動露出機を備えています。これにより、ウェーハの動きを完全に自動化し、より高いスループットと露出時間を短縮できます。さらに、ULTRATECH 1500は、試験片の段階精度のための高度な校正および試験ツールを備えているため、半導体ウェーハの不規則性にすばやく調整することができます。1500は、複数のレイヤー、正と負のダイ、バイナリファイルフォーマット、密度ベースの印刷、および事前定義された形状などのさまざまな画像フォーマットを処理することができます。また、ミラー、スケーリング、配列、光学ズーム、画像回転など、さまざまな画像操作機能も可能です。ULTRATECH 1500の露出アセットには、8チャンネルピッチ制御、高出力光源、および低層調整を行うための統合トリムモジュールが装備されています。また、単一および複数の露光モードのさまざまな露光時間とステージにも対応しています。全体として、1500は高精度で信頼性の高い高品質の半導体部品を作成するための信頼性と正確なツールです。このモデルの高度な機能と高スループットにより、さまざまなアプリケーションに最適です。
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