中古 ULTRATECH 1500 #9019176 を販売中

ULTRATECH 1500は、コンピュータチップなどの半導体デバイスの製造に使用されるウェハステッパーの一種です。サブミクロン範囲のワンステップリソグラフィ用に設計された専用機器です。1500のウェーハステッパーは専門にされたレーザーのアークシステムによって作り出される集中され、高エネルギー紫外線を利用します。このUV光は、ウェーハ表面にスピンキャストされたフォトレジスト層を露光するために使用されます。その後、ウェーハを化学開発者に浸して、フォトレジスト層に形成された微細構造を選択的に明らかにすることができます。ULTRATECH 1500ウェーハステッパーには、アラインメント、パターニング、オーバーレイ監視、フォーカスアライメント、パーティクルコントロールが含まれます。また、上段にはレーザーヘッド回転子とセンタリング機構を備えています。回転子は、レーザーがx、 y、およびz軸で移動することを可能にし、最終的な微細構造の特徴におけるより良い分解能と配置精度を実現します。センタリング機構により、レーザーとウェーハの正確なアライメントが保証されます。ユニットには、プロジェクトのニーズに応じてランプまたはレーザーである可能性のある光源も含まれています。ソースは集光格子機に結合されており、光を2つのビームに分割し、ステッパーの露出領域に収束させることができます。これにより、基板上のフィーチャー配置の精度が高くなります。ステッパーには高度なイメージングツールも含まれています。これには、露光前後の各微細構造の画像を撮影するCCDカメラが含まれます。これらの画像は、校正フレームと比較して正確さと品質を保証することができます。各特徴のサイズそして形を測定するのに使用することができます。1500ウェーハステッパーの他の機能には、空気中の汚染物質を除去する粒子制御アセットがあり、フォトレジストと機能の汚染を排除します。OLP （Optical Low Pass Filter）を使用することで、ステッパーはエネルギー強度の低下によって引き起こされる歪みを補償することができ、不要な露出アーチファクトにつながる可能性があります。最後に、ステッパーには高精度のウェーハ処理モデルも含まれており、パターン上のウェーハの迅速かつ正確な位置決めを提供します。これらのすべての機能により、ULTRATECH 1500はマイクロチップ生産に最適です。