中古 ULTRATECH 1500 MVS #9266754 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSは、半導体デバイスの製造に使用される精密リソグラフィ用に設計された先進的なウェーハステッパーです。これは、最高レベルの精度と品質を維持しながら、コストを削減し、スループットを向上させるように特別に設計されたUltraStepper製品ファミリーの一部です。この装置は、5軸電動スキャンステージと高精度エンコーダを使用して、各ステップでステージ位置を測定および調整します。1500 MVSは、最大156mmのガラス基板、4インチまでの溶剤および耐熱マスク、および1500mm/sまでのスキャン速度を処理する能力を備えています。また、ウェーハステッパーは、X軸とY軸の両方でステージの正確なアライメントと露出領域のアライメントのための高度なモーションフィードバック制御システムを利用しています。ULTRATECH 1500 MVSには、露光前のマスクと基板の精密な光学アライメントを可能にする2軸の光学ユニットも装備しています。このマシンはまた、露出中のステージの動きを監視し、調整するために高度な画像処理アルゴリズムを利用しています。1500 MVSは、幅広い露出パターンを提供し、マルチレベルパターンを可能にする「スマート」エッジタイリングツールを備えています。このアセットには、プログラム可能なスキャンパターンジェネレータも含まれており、さまざまなレベルの解像度をサポートしています。このモデルは、単一および複数の露出の両方が可能であり、0。1 umパターニング精度と0。001 umエッジ配置精度を生成することができます。この機器は最大6つのレシピを保存できるため、大容量の環境に最適です。ULTRATECH 1500 MVSは、可動部品間の接触を最小限に抑え、安定性を高め、寿命を延ばすように設計されています。さらに、ウェーハステッパーは堅牢な構造設計を備えており、産業環境での信頼性の高い動作を可能にします。ULTRATECHはまた機械の最適性能を保障するために付属品および消耗品の広い範囲を提供します。ステッピングコントロールユニット、温度および湿度制御、インライン粒子監視、自動ジョブ送信などの機能を備えた1500 MVSは、高品質のウェーハパターンを作成するための最適なツールです。