中古 ULTRATECH 1500 MVS #9097721 を販売中

ULTRATECH 1500 MVSウェーハステッパーは、先進的なセミコンデータ製造のための最先端の次世代ソリューションです。MVS （Multiple Viewing System）技術と呼ばれる特許取得済みの可変スリットスキャンププロセスを利用して、1500 MVSは利用可能なウェーハステッパーの最高スループットを提供することができます。ULTRATECH 1500 MVSは、MVS技術を活用してウェーハ全体を1回の露光でイメージし、同時にイメージングプロセスを合理化します。ウェーハ露出を4つの別々のスリット設計に分割することで、光学的ミスアライメントを低減し、画像ステッチの問題を解消し、画像全体の歪みを大幅に低減します。MVSはまた、アンギュラスリットスキャンと結合した基板キャリアモーションを利用しており、ウェーハステッパーの最高精度と速度を実現しています。1500 MVSウェーハステッパーには、シンプルで複雑なデバイスジオメトリのための自動ウェーハマッピングシステムと、デバイスサイトごとに常に変化するアライメントマークが装備されています。この機能により、デバイスのアライメントを完全に制御しながら、正確な結果が得られます。ULTRATECH 1500 MVSには高精度フレームグラバーが内蔵されており、取得した画像を簡単に観察・解析することができます。これは、必要に応じて、イメージングプロセスとの矛盾を迅速に解決するために、即座に是正措置を講じることができることを意味します。1500 MVSは非常にユーザーフレンドリーなウェーハステッパーで、半導体ウェーハ処理の最新の進歩を真に統合します。革新的な設計機能により、精度と精度を維持しつつ、利用可能な最高のスループットを実現します。また、フレームグラバーを内蔵しているため、取得した画像を観察・分析することができます。これにより、ULTRATECH 1500 MVSの信頼性の高いパフォーマンスがさらに向上します。