中古 ULTRATECH 1100 #9151421 を販売中

ULTRATECH 1100ウェーハステッパーは、マイクロリソグラフィ業界の半導体ウェーハにナノパターンを転送するために使用される完全に自動化された高精度の機械です。このステッパーは、深紫外線レーザーを使用して基板表面にさまざまな微細なパターンを生成します。装置は、スキャナとエンドステーションの2つの主要部分で構成されています。1100スキャナには、投影レンズ、画像記録ステージ、ドロップダウン軽減ステージの3つのステージがあります。プロジェクションレンズは、高輝度の深紫外線レーザーからの集光ビームを、画像記録ステージにあるマスクに向けます。これにより、録音ステージにデバイスパターンが再現され、自動的にドロップダウン軽減ステージに同期されます。このステッパーは、画像解像度が0。25ミクロンと高い248nmの波長で動作する利点があります。ULTRATECH 1100は、深紫外線レーザーを使用しているため、アスペクト比20：1の構造にナノスケールのパターンを転送することができます。システムのレーザーパルス長も調整可能で、所望のパターンサイズに応じて8〜32マイクロ秒です。また、1100には、機械のセットアップのプロセスを自動化するプロセス制御層があります。この機能により、マスクの手動配置が不要になり、実行中に一貫したプロセスパラメータを使用できます。ULTRATECH 1100ウェーハステッパーは、機械の寿命を通じて高い光学性能を維持するために最先端の光学系を装備しています。さらに、ユニットには潜在的な故障を検出し、信頼性の高い動作を保証するために自動的に補償する内蔵の安全装置があります。1100は、深紫外線レーザー源と高度な光学系を利用してナノスケールパターンを半導体ウェーハに正確に転送するオールインワンウェーハステッパーです。このツールは完全に自動化されており、一貫性のあるプロセスパラメータを実現します。ULTRATECH 1100は、その高度な機能と比類のない精度により、マイクロリソグラフィ業界に最適です。