中古 ULTRATECH 1100 #9036435 を販売中

ULTRATECH 1100
製造業者
ULTRATECH
モデル
1100
ID: 9036435
Steppers.
ULTRATECH 1100は、半導体ウェハリソグラフィ処理用に設計された高度なウェハステッパーです。この機器は、自動車、航空宇宙、医療、家電などの多くの産業で生産性を簡素化し、向上させます。この装置は、X-Yステージ、スキャナ、およびシステムの活動をプログラミングおよび制御するためのさまざまな形式のソフトウェアおよびユーザーインターフェースを含む多数の主要コンポーネントで構成されています。X-Yステージは、ウェーハをステージ上に正確に配置し、ステージの速度と方向を制御する役割を担っています。さらに、X-Yステージは、リソグラフィ工程中のウェーハの座標と動きの精度を制御する役割も担っています。クォーツコーティングされたステージプレートを使用して、X-Yステージは、約0。1umの精度でユーザーが指定したパターンにウェーハを正確に整列させることができます。光学ヘッドとも呼ばれるスキャナは、ウェーハ上で処理する設計またはパターンの可視化を担当します。このプロセスには、マニュアルフォーカスレンズなどの非常に精密な光学系が必要であり、設計をウェーハに正確に適用して転送するためには、微細な精度が必要です。さらに、光学ヘッド部品はビームブランキング装置で構成されており、特定の領域でパターンがウェーハに適用されるのを防ぐために使用されます。1100ウェーハステッパーは、アライメント精度、ビーム偏向、フォーカス、ビーム露出時間、速度設定などのさまざまなパラメータを制御および調整するために使用される統合ソフトウェアを使用して操作されます。命令とパラメータは、システムがリソグラフィ操作を実行するためのソフトウェアに入力されます。インタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスも提供されており、ユーザーが必要な場合は機器の手動制御を有効にするために使用されます。マニュアルフォーカシングレンズからクオーツステージプレートまで、半導体加工に適した洗練された安全なリソグラフィ体験を提供します。このシステムは、0。1umまでの精度で高精度なウェーハフォトリソグラフィーを提供することができ、ウェーハリソグラフィープロセスに最適です。
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