中古 ULTRATECH 1000W #45712 を販売中

ULTRATECH 1000W（ウルトラテック）は、半導体の基板に回路パターンを転送するための半導体製造に使用されるリソグラフィ装置の一種であるウェハステッパーです。1000Wは、35mmフィルムフォーマット用の最大160um正方形のレーザー照明露光領域と、リソグラフィー表示用の8。5umスポットサイズを備えた高度なイメージング機能を備えています。ULTRATECH 1000Wには、自動ウェーハプローブと高性能の自動アライメントモーターが搭載されており、最大のアライメント精度を実現しているため、フォトリソグラフィックの生産とプロトタイピングに役立ちます。1000Wには最大4つのウェーハを収容する自動ウェーハ処理装置があり、トランスファー中に基板を保護するためのバブルシーリングチャンバーが内蔵されています。このシステムは、高収率の処理とエッジ登録の改善を可能にし、基板全体の均一な膜厚を確保するのに役立ちます。自動化されたウェハハンドリングユニットは、0。1 um以上のウェハアライメントの再現性も備えています。さらに、冷却ジェットは、露出中に周囲温度レベルを一貫した状態に保つために機械に統合されています。ULTRATECH 1000Wはまた、要求の厳しい露光アプリケーションに最大20mWの高出力照明を提供するハイエンドのUVレーザーツールを備えています。露出アセットは0。5〜4秒の露出時間を可能にし、精度の高い露出時間は0。01秒です。さらに、1000Wには自動露出校正モデルがあり、スポットサイズ、露出時間、および投与量を含むすべての露出パラメータが露出前に許容範囲内にあることを保証します。ULTRATECH 1000Wには、包括的なソフトウェアとハードウェア制御オプションも含まれており、ユーザーは最適な結果を得るためにデバイスをカスタマイズして制御することができます。ユーザーは、露出時間と投与量の完全な露出パラメータ制御、および拡大画像の露出速度調整にアクセスできます。さらに、1000WにはFlexSpinオートローダーとアンローダー機能があり、ウェーハを自動的にロードおよびアンロードし、セットアップ時間を短縮し、全体的なスループットを向上させます。ULTRATECH 1000Wウェーハステッパーは、現代の半導体産業の要求に応えるように設計されており、費用対効果が高く信頼性の高いパッケージで高い露出精度と制御を提供します。その多目的な特徴セットおよびユーザーフレンドリーな制御選択はそれを産業および研究の設定のための大きい選択にします。