中古 ULTRATECH 1000 #9214696 を販売中

ULTRATECH 1000は、ウェーハ製造におけるリソグラフィーサービスを提供するために設計されたウェーハステッパーです。これは、物理パターンを取り、個々のウェーハに転送することができる高精度のツールです。ステッパーは、ウェーハの自動整列、正確な集中、および各アプリケーションの正確なエッジ配置を実現するように設計されています。1000は、その重要な機能の1つである顕著な絞りマスクイメージングシステムを持っています。汎用性の高いMaskFlex Plusレチクルハンドラを搭載しており、幅広いレチクルに簡単に対応できます。ステッパーはまた、正確なパターン配置を可能にする自動レンズ位置決めシステムを備えています。ULTRATECH 1000は最高の効率および生産性のために設計されています。ユーザーは最大3つのウェーハを同時に処理することができ、既存のウェーハ処理システムに統合することができます。ステッパーは、SOI、多孔質SiO2、スパッタ、研磨、未処理など、さまざまな種類のウェハにも対応できます。1000は、レチクルイメージング、アライメントツールサポート、ステッピングコントロール、レシピサーバ、複数のジョブ、自動ウェーハ交換、自動クリーンなど、多数の機能と機能が可能です。ディープUV、 DUV（ディープウルトラバイオレット）、i-line、 KrF、 e-beam、および複数のリソグラフィ技術を含む複数の露光技術を使用することができます。ステッパーは、最大解像度5ミクロンで動作するように構築されており、直径100mm以下のいくつかのレチクルフォーマットをサポートしています。露光時間が非常に速く、1時間あたり最大300個のウェーハを処理できます。ULTRATECH 1000は操作が非常に簡単で信頼性が高いです。メンテナンス要件が少なく、予期しないコストを回避できるように設計されています。また、マシンのミスや損傷のリスクを最小限に抑える安全機能と、誤動作やエラーをすばやく検出できる高度な診断機能も内蔵しています。全体として、1000はラインウェーハステッパーのトップであり、設計とパターンをウェーハに正確かつ正確に転送する機能を備えています。露光時間が速く、複数のウエハを一度に効率的に処理できるため、大規模な注文をタイムリーに処理するのに最適です。