中古 ULTRATECH 1000 #9023151 を販売中

ULTRATECH 1000は、めっき、拡散、エッチング、およびその他の集積回路製造手順におけるリソグラフィ工程用に設計された最先端のウェハステッパーです。注目すべき開発では、ハイエンドのパフォーマンスのための革新的な機能の例外的な組み合わせが装備されています。プロセスの柔軟性と速度が可能なステッパーには、高度に構成可能な光学およびモーションプラットフォームがあります。高性能サーボサーボモータを搭載し、多数のタスクでチップ完成までの時間を短縮します。また、連続印刷に使用すると比類のない性能を発揮する加速・速度制御装置（A/S-C）を搭載しています。このシステムは、モータ速度、ズーム、フォーカスパラメータのユニークな組み合わせを備えており、超高速印刷レートを実現します。さらに、1000は、アプリケーション固有の制御と精度を可能にする地形と双方向リソグラフィの技術カスケードで武装しています。これにより、ユーザーは明確に定義された露光方向性を提供し、複雑なデバイス製造ステップでも優れた歩留まりと信頼性を実現します。また、ウェーハ全体の露出の均一性を最大限に保つ高度なユニットにより、プロセス結果の再現性を最大限に高めています。このデバイスの優れた露出能力は、ビーム分割とクアドラント露出動作の両方を組み合わせた最先端の"Centrisys'光学マシンに起因する可能性があります。これにより、ソフトコンタクトイメージングは、単一の光学パラメータによって正確に特徴付けることができます。さらに、ULTRATECH 1000には、ステッパーの迅速かつ効率的な制御を可能にする強力で高度なソフトウェアが装備されています。MyWaferTMソフトウェアおよびメンテナンスボードは、露出とアライメントのパラメータを簡単かつ便利に設定できる包括的な制御環境をユーザーに提供し、ウェハクリーニングやウェハローディングなどの時間的プロセスを監視します。1000はまた、ユーザーが交換可能な高輝度の長寿命フラッシュランプだけでなく、可変フィールド露出（VFE）オプションを備えています。その上に、このツールはシンプルでクリーンで信頼性が高いように設計されており、最高レベルのパフォーマンスで機能するために最低限のメンテナンスが必要です。これにより、ULTRATECH 1000は産業用または学術用のリソグラフィ要件に最適なソリューションとなります。