中古 NIKON S205 #293606201 を販売中

NIKON S205は、リソグラフィ用途向けの次世代の費用対効果の高いステップアンドリピートパターンジェネレータで、2Dパターン処理のシステム管理をユーザーに提供します。NIKON S 205は、クラス最高性能のウェーハステッパーの1つです。先進的な光学設計により、エッジからエッジへの歪みを劇的に低減し、より幅広いパターンを構成することができます。薄型レジストをサポートする高度に統合されたフォトマスク処理システムは、より高い歩留まりと優れたスループットをもたらします。高度なアライメントと計測機能により、オーバーレイの不正確さを低減し、調整の層を減らし、処理を高速化できます。S205は、コストを削減し、より高い解像度を提供しながら、生産プロセス内の速度、スループット、および生産性を向上させるように設計されています。高速パターンジェネレータと8,000ポジションオートマスクチェンジャーを組み合わせることで、マスク交換、アライメント、露出に要する時間を短縮します。この高精度マシンは、最大2ナノメートルの精度で、12。5ミクロンまでの線形パターンと円形パターンの両方を処理することができます。NIKON S205は、サーマルドリフト量を最小限に抑える独自の安定化機能や、80位置、最大4軸の回転動作が可能な高密度6軸キネマティックロボットなど、精度と再現性を兼ね備えた機能を搭載しています。NIKON S 205は、最適化された暗室空間効率のための統合された暗室、露出とアライメントのステップ間の光学系の迅速な交換のための自動レンズ交換システムなど、多数のオプションコンポーネントを備えています。S205は、LEDやEPI、 MEMSやマイクロデバイスなど、さまざまなセミコンやその他の産業に適しています。スピードと精度のための今日の最も困難な要件を満たすように設計されており、顧客に低い所有コストを提供します。S 205は、高度な技術の高度化と信頼性の理想的な組み合わせを提供し、ユーザーは最適な出力と歩留まりを達成することができます。