中古 NIKON S 207 #293660439 を販売中

NIKON S 207ウェーハステッパーは、高精度なアライメント機能と高いスループットとウェーハツーウェーハオーバーレイ精度を兼ね備えた、完全に自動化されたハイエンドウェーハステッパーです。これは、PEB、 LPCVD、 EPI、およびその他のインライン技術を含むステッピングプロセスに使用できるさまざまなモジュールを備えた完全にプログラム可能な機器です。このシステムは、10。7nm×10。8nmの大きな露出フィールド、0。75の高い数値開口（NA）、および毎秒300フレームの高いステッパー速度を備えています。ステッパーには2つの露出ヘッドがあり、それぞれに独立した光学ユニットがあり、さまざまな露出とウエハータイプに対応しています。光学パラメータは、異なる数値開口、被写界深度、倍率、およびリソグラフィパターンサイズで露光するためのイメージングマシンを最適化するためにプログラムすることができます。このツールのアライメントアセットには、自動アライメントオプティクス、広い視野、および重要なレイヤーを正確かつ再現可能にアライメントするためのサブナノメートル分解能が含まれます。また、レーザーアシストウエハアライメント装置を内蔵しており、高精度を実現しています。NIKON S207 Wafer Stepperは、小型パターンステッチ、歪み補正、色分離、Hi-Qイメージングなどの高度なフォトリソグラフィ機能のための包括的な画像処理システムを備えています。このユニットは、高スループットのために毎秒最大3回の露出を可能にします。露出ヘッド間の露出領域の完全な交換をサポートし、高い冗長性と高価なウェーハの利用を可能にします。S 207 Wafer Stepperは、パターニングパラメータを簡単に設定できる広範なパターニングライブラリを備えており、ユーザーに最大限のパターンコントロールを提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは使いやすく、さまざまなレイヤーやウェーハ定義を管理できます。機械はETTOに準拠しており、最も厳しいリソグラフィープロセス要件を満たしています。S207ウェーハステッパーは、精密リソグラフィ、イメージング、およびウェーハ品質管理のための最も包括的なシステムの1つを提供しています。その大きな露光領域、高速、高品質の解像度により、複雑な3Dディスプレイ、医療機器、半導体、およびその他の高度なアプリケーションの製造に最適なソリューションです。