中古 NIKON NSR SF120 #9290519 を販売中

NIKON NSR SF120ウェーハステッパーは、先進的な半導体製造のための最先端のウェーハステッパーです。高度なリソグラフィ、検査、直接書き込み、電子ビームリソグラフィなど、さまざまなイメージングアプリケーションやプロセスで高い生産性を実現するように設計されています。最先端のニコンオプティクスと最新の長寿命プロジェクション露光技術を活用し、超高精度アプリケーション向けに最大0。5ナノメートルの高解像度で、優れた精度、アライメント、速度を実現したSF120です。デュアルステージウェーハプラットフォームは、アクティブなアライメント装置を採用しているため、アライメントエラーを最小限に抑え、長時間のウェーハ動作のための露出範囲を延長できます。SF120の高度に適応可能でモジュラー設計は、最先端の多機能プロセスとアプリケーションに最適なソリューションです。NIKON NSR-SF120ウェーハステッパーは、さまざまな半導体生産環境に業界をリードする多くの機能を提供しています。460mmのウェーハスパンにより、SF120は0。2ミクロンまでの繰り返し可能で正確なオーバーレイ性能を提供します。ソリッドステートレーザー光源は、安定した高スループットを提供する統合露光システムで設計されています。内蔵の自動マッチングユニットは、マシンバランスを維持し、優れたアライメント性能を実現します。また、NSR SF 120 Wafer Stepperは、最大0。4ナノメートルの高分解能検査ツールを提供しており、ウェーハ上の精密なデバイス機能の検査に最適です。また、幅広い露光範囲とフィールド補正機能を備えており、複雑なマルチパターニングとダイレクトライトリソグラフィを可能にするさまざまなレチクルをサポートしています。NSR-SF120 Wafer Stepperは、操作を簡素化し、ダウンタイムを最小限に抑えるために、使いやすく直感的なコントロールを備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。フレキシブルなプロセス環境により、SF120は、オペレータの作業負荷を最小限に抑えるために、より軽量なウェーハ配送と高いスループット速度を提供します。また、高度な資産管理ソリューションにより、スケジュールの管理、パターン特性の追跡、実際の処理結果の監視も可能です。NIKON SF120 Wafer Stepperは、包括的なサポートネットワークによって支えられ、優れた品質保証と長期的なパフォーマンスを提供します。その高度なソフトウェア資産により、ユーザーは最高レベルの精度と信頼性で作業を迅速に完了し、品質の高い生産、メンテナンスがほとんどなく、時間の経過とともにコスト削減を実現できます。