中古 NIKON NSR SF120 #9207084 を販売中
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ID: 9207084
Stepper, 12"
Front In-line FOUP / ACT12
(6) Reticles, 0.25"
Variable reticle microscope
Main body:
Magnification: 1/4 Reduction
i-Line light-source, 365 nm
Resolution: 0.28um
NA Variable lens: 0.50 - 0.62
Exposure: 25 mm x 33 mm
3-Axis (5) PIEZO Lens adjust
PC System hardware:
Type: DS10
UPS System
Alignment sensor:
LSA
FIA
AIS
No LIA
Interferometer system:
Wafer stage
Reticle stage
Mercury ARC lamp: 5.0 kW
Multi focus system
Table leveling system (VCM)
Wafer loader:
Type III
Wafer type: Notch
Front In-line FOUP + ACT12
Single wafer cassette
Wafer pre-align type: NC PRE2
Reticle loader:
SMIF Type (OHT)
(2) Indexes
Barcode reader
PPD3 Particle checker
Control rack:
Type: Normal (Right)
Cable length: Normal
Chamber:
S52 Sendai chamber
CVCF NEMA (1,2)
BATC / CATC / LLTC: 23.0°
PM Data:
Wafer Flatness:
Maximum: 1.270 um
L.F Maximum: 0.790 um
Lamp:
Power: 1497.932 mw/cm²
Uniformity: 2.359%
Lens distortion:
Maximum X: -0.012 - 0.013um
Maximum Y: -0.017 ~ 0.016um
Lens inclination:
Maximum: 0.060 um
Curvature: 0.023 um
AST(V-H): 0.051 um
UR-LL: 0.012 um
UL-LR: 0.021
Illumination system:
ID1(L-NA/I-NA): ConV 0.52/0.36
ID2(L-NA/I-NA): ANN 0.62/0.5
ID3(L-NA/I-NA): ConV 0.62/0.43
ID4(L-NA/I-NA): ConV 0.62/0.36
Power supply: 208 V, 3-Phase, 60 Hz
2003 vintage.
NIKON NSR SF120は、NIKON独自の「Resonant Scanned Stepper （RSS）」技術を搭載した高精度ウェーハおよびマスクアライナー装置です。要求の厳しいステッパー用途において、高いスループットと高精度を実現できます。マスクとウェーハ加工の両方に適しています。高速6軸ステージを採用し、1 nmの位置決め解像度を実現しています。ステージの最大加速度は30m/s2で、レタッチフレームが少ないためサイクルタイムが短くなります。ウェハステパーは、幅広いフォトマスクの露出とアライメントが可能です。9波長（i-line、 g-line、 u-lineを含む）の非接触アライメント光源を備え、ウェハやフォトマスクに高精度なアラインメントを提供します。また、プログラム可能なアライメントアルゴリズムを搭載し、さらなる精度向上を図っています。また、独自の2次元登録マーカーの導入により、高精度なアライメントと登録の再現性（1。5シグマ）が保証されています。NIKON NSR-SF120は、直感的なユーザーインターフェイスと最適化されたレシピ生成ツールにより、セットアップ時間を短縮します。NIKON独自の光軸補正機能により、幅広い用途に対応した光軸の垂直性（オン軸の垂直性）を維持します。ウェーハステッパーには、速度と精度のための複数のオプションが装備されています。特許取得済みの自動センサ機を使用して残留材料を検出します。デフォルトの自動センサーは、0。1ミクロンから最大10mmの寸法のオブジェクトを検出できます。このマシンはまた、ウェーハとマスクを迅速かつ正確に登録するための登録検索モードを提供しています。NSR SF 120は、包括的な安全機能セットでも設計されています。これは、有害物質への暴露からユーザーを保護するための現場保護ツールを備えています。また、アセットのステータスに変更が検出された場合に迅速に問題を検出できる絶対位置モニターを備えています。NSR-SF120は、生産レベルのアプリケーションの高い要求を満たす完全に高精度のウェーハステッパーです。その能力と高度な技術により、優れたアライメント精度とスループットを提供できます。ウェーハやフォトマスクの高精度なアライメントと登録を必要とするアプリケーションに、費用対効果の高いソリューションを提供します。
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